Π‘ΠΏΠΎΡΠΎΠ±Ρ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ
Π Π°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠΈΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Ρ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠΈ, Π΄Π° ΠΆΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΡΡΠΊΡ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ . ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ Π·Π΄Π΅ΡΡ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ, ΠΏΠΎΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΠ»ΡΠ±ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌ, Π½Π΅ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎ ΠΎΡ ΠΎΠΏΡΡΠ° ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΠΈΠ·ΠΌΠ°.
ΠΡΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠΎ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΠΈΡΠ°ΡΡ ΡΡ Π΅ΠΌΡ ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ. ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΊΡΡΠΎΠΊ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΡΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ°, ΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π° Π½Π΅Π³ΠΎ ΡΡ Π΅ΠΌΡ, Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΡΡΠ³Π°, ΠΠ£Π’ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ.
ΠΠ°ΠΊ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡ Ρ Π»ΠΎΡΠ½ΡΠΌ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎΠΌ
Β Β
Π‘Π°ΠΌΡΠΉ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΠ½Π½ΡΠΉ ΠΈ Π·Π°ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΠΎΠ²Π°Π²ΡΠΈΠΉ ΡΠ΅Π±Ρ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄, ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ . ΠΠ°ΠΊ ΡΠ°Π·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ Ρ Π»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎ? ΠΠ΅ΡΠ΅ΠΌ ΡΠΌΠΊΠΎΡΡΡ Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ Π±ΡΠ΄Π΅ΠΌ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΠΊΡ, Π½Π°Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌ ΡΡΠΏΠ»ΡΡ Π²ΠΎΠ΄Ρ, Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΠ΅ΠΌ Ρ Π»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎ Π² ΠΏΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΊ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅ΠΌ, Π½Π΅ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΠΎ. ΠΠ° 100 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ»ΠΈΡΡΠΎΠ² Π²ΠΎΠ΄Ρ, ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ 25 Π³ΡΠ°ΠΌΠΌ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ°, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΠΉΡΠΈΡΡ Π±Π΅Π· ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ Π²Π΅ΡΠΎΠ², ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, Π½Π° Π³Π»Π°Π·.
ΠΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ Ρ ΠΊΡΡΠΏΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΊΠ°ΠΌΠ½ΡΠΌΠΈ, ΠΊΠΎΠ»Π΅ΠΌ ΠΈΡ Π³Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΠΌ, ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌ, ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΠΌ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎ Π² Π²ΠΎΠ΄Π΅. ΠΠ΅Π»Π°Π΅ΠΌ ΡΡΠΎ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π°ΠΊΠΊΡΡΠ°ΡΠ½ΠΎ, ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π΅Π΄ΠΊΠΈΠΉ ΠΈ Π·Π°Π³ΡΠ±ΠΈΡΡ Π²Π΅ΡΠΈ, ΠΏΡΠΎΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΠ³ΠΎ.
ΠΠΏΡΡΠΊΠ°Π΅ΠΌ Π² ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡ, ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΏΠΎΠΉΠ΄Π΅Ρ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Ρ Π»ΠΎΡΠ½ΡΠΌ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎΠΌ ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π° ΡΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΏΡΠ·ΡΡΡΠΊΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ.Β ΠΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π΅ΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡ Π² ΡΠΌΠΊΠΎΡΡΠΈ, Π΄Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π», ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΡΡ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ Π½Π°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ.
ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π±ΡΡΡΡΡΠΉ, ΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°ΠΉΡΠ΅ Π·Π° ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠΌ. ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΈΠ·Π²Π»Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡ Π΅ΠΌΡ, ΠΏΡΠΎΠΌΠΎΠΉΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ. Π‘ΡΠΈΡΠ°Π΅ΠΌ ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΡΠΎΠ½Π΅ΡΠ° Π°ΡΠ΅ΡΠΎΠ½ΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΎΠΉ Π½Π°ΠΆΠ΄Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ, Π»ΡΠ΄ΠΈΠΌ Π΄ΠΎΡΠΎΠΆΠΊΠΈ. ΠΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠΉ, Π²ΡΠ³ΠΎΠ΄Π½ΡΠΉ, ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ Π² Π±Π°Π½ΠΊΠ΅, ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ, ΡΠ±ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅Ρ, Π° ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π½Π΅Π΄Π΅Π»ΡΠΊΡ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π²Π½ΠΎΠ²Ρ.
Π’ΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΠΈΡΡΡ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π°, ΡΠΎΠ»ΡΡ ΠΈ Π»ΠΈΠΌΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ
Β
ΠΠ΅ΡΠ΅ΠΊΠΈΡΡ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΠΏΠΎΠΊΡΠΏΠ°Π΅ΠΌ Π² Π±Π»ΠΈΠΆΠ°ΠΉΡΠ΅ΠΉ Π°ΠΏΡΠ΅ΠΊΠ΅, Π»ΠΈΠΌΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ ΠΈ ΡΠΎΠ»Ρ Π² Π»ΡΠ±ΠΈΠΌΠΎΠΌ ΠΌΠ°Π³Π°Π·ΠΈΠ½Π΅. Π‘ΠΏΠΎΡΠΎΠ± Π½Π°Π΄ΡΠΆΠ½ΡΠΉ, Π½ΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠΉ, ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΡΠ°Π· ΠΏΡΠΈΠ΄ΡΡΡΡ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ.
ΠΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠΈΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ²Ρ, ΡΡΠΎ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ»ΠΈΡΡΠΎΠ² ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΠΈΡΠΈ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π°, ΡΠ°ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΠΉ ΡΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ, 5-6 ΡΡΠΎΠ»ΠΎΠ²ΡΡ Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ Π»ΠΈΠΌΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ ΠΈ ΠΏΠ°ΡΡ Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΏΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΠΈ, ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌ.
ΠΠ»Ρ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°, ΡΠ΄Π΅Π»Π°ΠΉΡΠ΅ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ Π½Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡ, Π΄Π»Ρ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π²ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ, Π²ΡΠ΅ ΡΠ°Π²Π½ΠΎ ΠΏΠΎΡΠΎΠΌ Π²ΡΠΊΠΈΠ΄ΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠ². ΠΡΠΎΡΠ°Π΅ΠΌ Π² Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠ»Π°ΡΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌ.
Π Π΅Π°ΠΊΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π±ΡΡΡΡΠΎ ΠΈ Π²ΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠ·ΡΡΡΠΊΠΎΠ², ΠΌΠ΅Π΄Ρ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΡΠΌΠΎ Π½Π° Π³Π»Π°Π·Π°Ρ , ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π΅ΡΡΡ. ΠΠΎΠ»Π½ΠΎΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΏΠΎΠ» ΡΠ°ΡΠ°.
Π ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΠ΅ ΡΠ°ΠΌΡΠΉ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΡΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±,Β Π²ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΡ ΡΠΏΠΎΠΊΠΎΠΉΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΈ ΡΡΠΎΡΡ Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ Π΄ΡΡΠ΅Π²ΠΎ, Π΅ΡΠ»ΠΈ Π½Π°Π΄ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΠΈΡΠΈ Π½Π΅ ΠΆΠ°Π»Π΅Π΅ΠΌ. ΠΠ΄ΠΈΠ½ ΠΌΠΈΠ½ΡΡ, Π²ΠΎΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ, Π²ΡΠ»ΠΈΠ»ΠΈ, Π½Π° Π²ΡΠΎΡΠΎΠΉ ΡΠ°Π· Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅ Ρ Π²Π°ΡΠΈΡ. ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π΄ΡΡΡ, ΠΏΡΠΎΠΌΡΠ²Π°Π΅ΠΌ, Π»ΡΠ΄ΠΈΠΌ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠ΅.
Π’ΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ Π² ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΌ ΠΊΡΠΏΠΎΡΠΎΡΠ΅
Β
ΠΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡΡ ΠΊ Π΄Π΅ΡΠ΅Π²ΡΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π°ΠΌ, ΠΊΡΠΏΠΎΡΠΎΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΡΠΈ Π² ΡΡΡΠΎΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°Π³Π°Π·ΠΈΠ½Π°Ρ , Π°ΠΏΡΠ΅ΠΊΠ°Ρ ΠΈ ΡΠ°Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π»Π°Π²ΠΊΠ°Ρ . ΠΠ°ΠΌ ΠΏΠΎΠ½Π°Π΄ΠΎΠ±ΠΈΡΡΡ, Π³ΠΎΡΡΡΠ°Ρ Π²ΠΎΠ΄Π°, ΡΠ°ΠΌΠ°Ρ ΠΎΠ±ΡΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠΎΠ»Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΡΠ°Π½Π΅Π΅, ΡΠ°ΠΌ ΠΊΡΠΏΠΎΡΠΎΡ. ΠΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π±ΡΠ΄Π΅ΠΌ ΡΠΌΠ°Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΠ΅, Π½Π° ΡΠ»ΡΡΠ°ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ³ΡΠ΅Π²Π° ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° Π΄Π»Ρ ΡΡΠΊΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡ.
ΠΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅! ΠΡΠΏΠΎΡΠΎΡ Π²ΡΠ΅Π΄Π΅Π½ ΠΈ ΡΠΎΠΊΡΠΈΡΠ΅Π½, ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΠΉΡΠ΅ Π½Π° ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ Π²ΡΡΡΠΆΠΊΠΎΠΉ, Π±Π΅ΡΠ΅Π³ΠΈΡΠ΅ Π·Π΄ΠΎΡΠΎΠ²ΡΠ΅!
ΠΠ° ΡΡΠΎΠ»ΠΎΠ²ΡΡ Π»ΠΎΠΆΠΊΡ ΠΊΡΠΏΠΎΡΠΎΡΠ°, Π±Π΅ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ» Π»ΠΈΡΡΠ° ΠΊΠΈΠΏΡΡΠΊΠ°, Π΄Π²Π΅ ΡΡΠΎΠ»ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΡΠΎΠ»ΠΈ. Π‘Π½Π°ΡΠ°Π»Π° Π² ΡΠ°ΡΡ Π·Π°ΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ, ΠΊΡΠΏΠΎΡΠΎΡ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ Π·Π°Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΊΠΈΠΏΡΡΠΊΠΎΠΌ. ΠΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌ Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ², ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΡΡ. Π£ΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°Π΅ΠΌ Π² ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΡ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΡ, ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌ, ΠΏΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ³ΡΠ΅Π²Π°Π΅ΠΌ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ°Π·. ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΠΉ, Π±ΡΡΡΡΡΠΉ, Π½ΠΎ ΡΠ΄ΠΎΠ²ΠΈΡΡΠΉ.
Π’ΡΠ°Π²ΠΈΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡ Π² ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ΅ Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΠΈΡΡΡ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΠΈ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠΏΠ΅ΡΠΈΡΠΎΠΌ
Β
ΠΠΈΠ΄ΡΠΎΠΏΠ΅ΡΠΈΡ Π² ΡΠ°Π±Π»Π΅ΡΠΊΠ°Ρ Π΄Π»Ρ Π½Π°ΡΡΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ, Π°Π½ΡΠΈΡΠ΅ΠΏΡΠΈΠΊ, ΠΈΠΌΠ΅Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ΄Π°ΠΆΠ΅. ΠΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄ Ρ Π½Π°Ρ ΡΠΆΠ΅ Π΅ΡΡΡ, ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΡΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ»ΠΈΡΡ Ρ Π°ΠΊΠΊΡΠΌΡΠ»ΡΡΠΎΡΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡΠΏΠΈΡΡ, Π²ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ.
ΠΡΠ΅Π½Ρ ΠΌΠΎΡΠ½Π°Ρ ΡΠΌΠ΅ΡΡ, Π΄Π»Ρ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π°Ρ. ΠΠ³ΡΠ΅ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠ², ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π½Π°Π²ΡΠ΅Π΄ΠΈΡΡ Π²Π΅ΡΠ°ΠΌ ΠΈ ΠΊΠΎΠΆΠΈ, ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Ρ Π½ΠΈΠΌ. Π Π°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ Π² ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΌ, Π½Π΅ ΠΆΠΈΠ»ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ, Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠ΄ΠΎΠ²ΠΈΡΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡ. Π’ΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π±ΡΡΡΡΠΎ, Π½Π΅Ρ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ³ΡΠ΅Π²Π°ΡΡ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΡ.
ΠΡ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Π»ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Ρ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ, ΠΏΡΠΈΡΡΠΌ Π½Π΅ Π²ΡΠ΅, Π° ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΡΠ΅. Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡ Π΅ΡΡ Π½Π΅ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ, Π²ΡΠΆΠΈΠ³Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠΌ, Π³ΡΠ°Π²ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ, ΡΡΠ°Π½ΠΊΠΎΠΌ Ρ ΡΠΈΡΠ»ΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ½ΡΠΌ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ
ΠΠ°ΠΊ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ
Π Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠ°ΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ ΠΎΠ±Π·ΠΎΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ² ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΒ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ , ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ, Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΠ£Π’. Π ΡΠ°ΠΊ ΠΏΡΠΈΡΡΡΠΏΠΈΠΌ.
Π‘ΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠΉ (ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡΡ ΠΏΠΎΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΡΡ )
Π 250 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ»ΠΈΡΡΠΎΠ² Π²ΠΎΠ΄Ρ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΡ 200 Π³ΡΠ°ΠΌΠΌ Ρ Π»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π°. ΠΠ°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° Ρ Π²Π°ΡΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΡΡ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 200 ΠΊΠ².ΡΠ°Π½ΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ². ΠΡΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ ΡΡΠΊΠΎΠΉ Π½Π΅Ρ Ρ Π»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π°, Π΅Π³ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΌΡ. ΠΠ»Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ Π² 200 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ»ΠΈΡΡΠΎΠ² ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ (ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠΆΠ½ΠΎ!) Π·Π°ΡΡΠΏΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ 10-15 Π³ΡΠ°ΠΌΠΌ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΡ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π½ΡΡ ΠΎΠΏΠΈΠ»ΠΎΠΊ.
ΠΠΎ Π·Π°Π²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ, ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ Π΅ΡΠ΅ ΠΎΡΡΡΠ°ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠ°ΡΡ Π΄Π½Π΅ΠΉ Π΄ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ Π±ΡΡΠΎΠΉ ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ. ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ Ρ Π»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π° ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ. ΠΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ Π΄ΠΎ 200 ΠΊΠ². ΡΠ°Π½ΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 30 ΠΌΠΈΠ½ΡΡ.
Π‘ΠΏΠΎΡΠΎΠ± Π²ΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ
ΠΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ Π² ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅ Π°Π·ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ (ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠΆΠ½ΠΎ!) Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 20%.Β ΠΠΎ Π·Π°Π²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΠ»Π°ΡΡ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΎ ΠΌΠΎΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠΌ ΠΏΠΈΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ΄Ρ. Π‘ΠΎΠ΄Π° Π½Π΅ΠΉΡΡΠ°Π»ΠΈΠ·ΡΠ΅Ρ Π°Π·ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ. ΠΡΠΈ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ Π°Π·ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ Π½Π° ΠΊΠΎΠΆΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΠ΄Π΅ΠΆΠ΄Ρ Π΅Π΅ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π½Π΅ΠΉΡΡΠ°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠΌ ΠΏΠΈΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ΄Ρ.
ΠΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ° Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ Π½Π΅ΠΏΡΠΈΡΡΠ½ΡΠΉ Π³Π°Π· Π±ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ° β ΠΎΠΊΠΈΡΡ Π°Π·ΠΎΡΠ°, Π² ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΡΡΠΈΠΌ Π²ΡΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡΡ Π² Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΌ ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅. ΠΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΡΡ 200 ΠΊΠ². ΡΠ°Π½ΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π² ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅ Π°Π·ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 20 C 5-10 ΠΌΠΈΠ½ΡΡ.
Π‘ΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΡΡΠ΅ΡΠΈΠΉ
Π 200 ΠΌΠ» Π²ΠΎΠ΄Ρ (ΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠΆΠ½ΠΎ!) Π·Π°Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ 20-30 ΠΌΠ» ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ (ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ Π² Π²ΠΎΠ΄Ρ, Π° Π½Π΅ Π½Π°ΠΎΠ±ΠΎΡΠΎΡ!). Π ΠΏΡΠΈΠ³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ ΠΊΠΈΠ΄Π°ΡΡ 4-6 ΡΠ°Π±Π»Π΅ΡΠΎΠΊ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΠΈΡΠΈ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π°. ΠΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΡ Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ Π°Π·ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ. ΠΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1 ΡΠ°ΡΠ°.
Π‘ΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΡΠ΅ΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΉ
Π ΠΏΠΎΠ» Π»ΠΈΡΡΠ΅ Π³ΠΎΡΡΡΠ΅ΠΉ Π²ΠΎΠ΄Ρ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΡ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅ ΡΡΠΎΠ»ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΏΠΈΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΠΈ, Π° Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ Π² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠΎΠ²Π΅Π²ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΡ Π΅ΡΠ΅ Π΄Π²Π΅ ΡΡ. Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠΏΠΎΡΠΎΡΠ°. ΠΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° Π² ΡΠ°ΠΉΠΎΠ½Π΅ 40-50 Π‘, Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΡΠ°Ρ.
Π‘ΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΏΡΡΡΠΉ
Π’ΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΠΈ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ° Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ 25β¦30 Π.Β ΠΠ»Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡ Π±Π»ΠΎΠΊΠ° ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ ΠΊ ΡΠΎΠ»ΡΠ³Π΅ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡ, Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ Π½Π° Π½Π΅Π΅ Π΄ΠΎΡΠΎΠΆΠΊΠ°ΠΌΠΈ. Π ΠΎΡΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΡ Π±Π»ΠΎΠΊΠ° ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ (ΠΠ) ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΡ ΠΏΠ°Π»ΠΎΡΠΊΡ Ρ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΎ Π½Π°ΠΌΠΎΡΠ°Π½Π½ΡΠΌ Π½Π° Π½Π΅Π΅ ΡΠ°ΠΌΠΏΠΎΠ½ΠΎΠΌ ΠΈΠ· Π²Π°ΡΡ, ΡΠΌΠΎΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ Π½Π°ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠΌ ΠΏΠΈΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΠΈ (ΡΠΈΡ. 10.3.1).
ΠΡΠΎΡΡΡΠΌΠΈ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ Π²ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΏΠ°Π»ΠΎΡΠΊΡ Ρ ΡΠ°ΠΌΠΏΠΎΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΠΎ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌΡ ΡΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡ. ΠΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°ΡΡ Π·Π° ΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΠ°ΠΌΠΏΠΎΠ½ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎ Π±ΡΠ» Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΎ Π½Π°ΠΌΠΎΡΠ΅Π½ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠΌ. ΠΡΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π±ΠΎΡΠ΅ ΠΠ ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠ°ΡΡ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΡΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ½ ΠΎΡΠ΄Π°Π²Π°Π» Π²ΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 100β¦120 ΠΡ (ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 4 Π°ΠΌΠΏΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆ. 25β¦30 Π²ΠΎΠ»ΡΡ).
ΠΠΎ Π·Π°Π²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΡΠ°Ρ Π½Π΅ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠ±ΡΠ°ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ. ΠΡΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Ρ ΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π½Π΅ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡ ΠΈ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π·ΠΎΠ½Ρ ΡΠ΅ΡΡΡΡ ΡΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠΌ ΠΠ. ΠΠΈΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΡΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΠΎΡΡΠ°Π²ΡΠΈΠΉΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ½ΠΎΠΊ ΠΈ Π½Π΅ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΊΠ°Π»ΡΠΏΠ΅Π»Π΅ΠΌ.
ΠΠ°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ Π² ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΠΈ
ΠΠ»Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ° Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ 12β25 Π ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΠΈ.ΠΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΡΡΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ ΠΊ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π»ΡΠ±ΡΠΌ ΡΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΠ°Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠΌ. Π’Π΅ΠΏΠ΅ΡΡ Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΈΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ. Π Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π²ΠΎΠ΄Ρ
Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΠ΅ΠΌ, ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Ρ, ΠΏΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ,ΠΏΠΎΠΊΠ° ΡΠ° Π½Π΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ°Π½Π΅Ρ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΡΡΡ.
ΠΡΡ, ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ Π³ΠΎΡΠΎΠ²!
Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ / Contents
ΠΡΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΠΈ Π·Π°ΠΆΠΈΠΌΠ° βΠΊΡΠΎΠΊΠΎΠ΄ΠΈΠ»β ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ° Ρ Π½Π΅Π·Π°ΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡ, Π° ΠΊ ΠΎΠ³ΠΎΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌΡ ΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΡΡΠΎΠΌΡ Π² ΠΏΠ΅ΡΠ»Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π°, ΠΈΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΎΡ ΠΎΡΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ° ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ°, ΠΏΡΠΈΠΊΡΠ΅ΠΏΠΈΡΠ΅ Π²Π°ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ°ΠΌΠΏΠΎΠ½.ΠΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ Π·Π°Π³ΡΡΠ·Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΠΌΠΏΠΎΠ½ ΠΌΠ΅Π½ΡΠΉΡΠ΅.Π ΡΠΎΠ»ΡΠ³Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ° Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ 9β12 Π.
ΠΡΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ° ΡΠΎΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΡ ΠΊ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΡΠΎΡΡΠ΄Ρ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ (ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΎΡΡΠ΄ ΠΈΠ· Π»ΡΠ±ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°). Π ΡΠΎΡΡΠ΄ Π·Π°Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π½Π°ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΠΈ, ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π² Π½Π΅Π³ΠΎ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡ ΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊ ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ. ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΠΎΠΊΠΎΠ½ΡΠ°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΌΡΠ²Π°ΡΡ ΠΈ ΡΠ΄Π°Π»ΡΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π½ΠΎΠΆΠ° ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»Π΅ΠΆΠ°ΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΈ.
Π£Π΄Π°ΡΠΈ!
ΠΠ°ΠΌΡΠ°Π΄, ΡΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½ΡΡ ΠΈ!
ΠΠ»Π΅ΠΊΡΠ°Π½Π΄Ρ (shursh)
ΠΡΠ΅ΡΡ, ΠΠ΅Π»Π°ΡΡΡΡ
ΠΠ½Π΅ ΡΠΆΠ΅ Π·Π° 40 Π»Π΅Ρ, ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 25 ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ , Ρ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΠ»ΡΠ±ΠΈΡΠ΅Π»Ρ. Π ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ, Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠΎΠΌ Π±ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ (Π΄Π»Ρ Π΄ΡΡΠΈ ΠΈ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΊΠΈ) ΡΠΎΠ±ΠΈΡΠ°Ρ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ Π½Π° ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΠ°Ρ , ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Ρ ΠΠ‘. ΠΠ΅Π»Π°Π» Π³ΠΈΡΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ Π·Π½Π°ΠΊΠΎΠΌΡΡ ΠΌΡΠ·ΡΠΊΠ°Π½ΡΠΎΠ².
Β
ΠΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ. ΠΡ ΡΠ΅ΠΎΡΠΈΠΈ ΠΊ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΊΠ΅
Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ β3’2008
ΠΠ°ΠΊΠ°Π·Π°ΡΡ ΡΡΠΎΡ Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠΠ΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½ΠΎ ΡΠ°ΡΡΡΡΠ°Ρ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π½ΠΎΡΡΡ Π² ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π²ΠΈΠΆΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΈΠ»ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ, ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΎΡΠ²Π΅ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΡΠΈΠΌ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌ.
ΠΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅
Π‘Π΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ ΠΠ ΡΡΠΎΠΈΡ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 100 ΠΌΠΊΠΌ, Π²ΠΏΠ»ΠΎΡΡ Π΄ΠΎ 20β40 ΠΌΠΊΠΌ, Π° ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Π·Π°Π·ΠΎΡΡ Π² 100β120 ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠΆΠ΅ ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ. ΠΠ΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΎΡΡΠΈΠΉΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΡΠΈΡΡΠΈΡ Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ°ΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ, ΠΏΡΠ°Π²Π΄Π°, ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π·Π³ΠΎΠ²ΠΎΡΠ΅ ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΡΠ΅ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄Π° Π³ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΡΡΠ½ΠΎ β ΠΎΠ½ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ. ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π±ΡΠ°ΠΊΠ° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ°Π² ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². ΠΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎ ΠΆΠ΅, ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ°Π²Π° ΡΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΈΠ· ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΏΡΠΈΡΠ΅ΠΌ Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ Π½Π° ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈΠ· ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°.
ΠΠ° ΡΡΠ½ΠΊΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ ΡΠ΅ΠΉΡΠ°Ρ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΠ³ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ β ΡΡΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±ΡΠ»ΡΡΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ² ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ, Π² ΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠΎΡΠ½ΡΡ . ΠΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΎΡΡ ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ-Π½ΠΈΠ±ΡΠ΄Ρ Π½ΠΎΡΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠ±ΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Ρ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄ Π³ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΈΠΈ Π½Π° ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ Π½Π΅ Π½ΠΈΠΆΠ΅ 95%, Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΠ Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ/Π·Π°Π·ΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 100 ΠΌΠΊΠΌ. ΠΡΡ ΠΎΠ΄ ΠΆΠ΅ Π³ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΈΠΈ 98β99% β Π½Π°ΠΈΠ»ΡΡΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Ρ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΡΠ»Ρ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΉ ΡΡΠΎΠ²Π΅Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ»Π°Ρ Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 100 ΠΌΠΊΠΌ.
Π‘ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ
ΠΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΡΠ΅ΠΌ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΉΡΠΈ ΠΊ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠΈΠΌ, ΠΈΠ· ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ½ΡΡΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. Π‘ΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ β ΡΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠ° ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ.
Π€Π°ΠΊΡΠΎΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ (ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ) β ΡΡΠΎ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ, ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°ΡΡΠΈΠΉ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΈ ΠΊ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ (ΡΠΈΡ. 1). ΠΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π½Π΅ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ½ΠΎ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΠΈ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°. Π Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΆΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠ° ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ, Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ ΠΎΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ (ΡΠΈΡ. 2).
ΠΠ° Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠ΅ (ΡΠΈΡ. 3) ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠΏΠΎΠ½ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ΅Π½ΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΡΠ²ΡΠ·ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°/Π·Π°Π·ΠΎΡΠ° ΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΈ Π½Π° ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΡΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ [1]. Π‘ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½Π°Ρ Π»ΠΈΠ½ΠΈΡ Π½Π° Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅Ρ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°/Π·Π°Π·ΠΎΡΠ°. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²/Π·Π°Π·ΠΎΡΠΎΠ² 100 ΠΌΠΊΠΌ Π±ΡΠ» ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ ΡΠΎΡΠΎΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ Ρ Π·Π°Π·ΠΎΡΠΎΠΌ 65 ΠΌΠΊΠΌ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ 135 ΠΌΠΊΠΌ. ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π° Π²Π΅ΡΡ ΡΡΠΊΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»Π° 85 ΠΌΠΊΠΌ ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π΅ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΈ 33 ΠΌΠΊΠΌ. ΠΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°Π·ΠΎΡΠΎΠ² ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½Ρ ΠΊΠ°Π½Π°Π²ΠΊΠΈ ΠΊ Π΅Π΅ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅ ΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ (ΡΠΈΡ. 4). Π’Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° Π·Π°Π·ΠΎΡΠΎΠ² Π½Π° ΡΠΎΡΠΎΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π΅ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ Ρ 65 Π΄ΠΎ 10 ΠΌΠΊΠΌ, Π° ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠΉ (25 ΠΌΠΊΠΌ), ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΡ ΡΠ΄ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Ρ 2,7 Π΄ΠΎ 1,6.
ΠΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡ ΡΠ΄ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠ° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅ ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΠΎΠ² ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 75 ΠΌΠΊΠΌ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΡΡΠ±ΡΠ»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊΠ°, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΠΆΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ Π½Π° Π²Ρ ΠΎΠ΄Π΅ Π² ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²ΠΎ ΡΡΠ°Π²ΠΈΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ°Π½Π°Π²ΠΊΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ½ΡΠΉ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ [1]. ΠΠ±Π»Π΅Π³ΡΠΈΡΡ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½Ρ ΠΊΠ°Π½Π°Π²ΠΊΠΈ ΠΊ Π΅Π΅ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΎΡΡΠΎΠΏΠ½ΠΎΠΌΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°.
ΠΡΠ±ΠΎΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ
Π Π°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΊΠΈ Π·ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠ° ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΡ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Ρ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. Π©Π΅Π»ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠΌ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠ»ΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Ρ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄Π° ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΎΠ½ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 3, ΡΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠ² ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 5.
ΠΠΈΡΠ»ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Ρ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄Π° ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ
Π ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΡ, ΠΊΠ°ΠΊ:
- ΠΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ-Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π» (ΠΠΠ). ΠΠ½ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°Π΅Ρ ΡΠΎΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Cu2+ ΠΈ Cu1+ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ.
- ΠΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ. ΠΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠ° Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Ρ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄Π° ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, Π° Π΅Π΅ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΈΠ·Π±ΡΡΠΎΠΊ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°.
- ΠΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°. ΠΡΠΎΡ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°Π΅Ρ Π½Π°ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π² ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅ ΠΈ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ.
- Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°. ΠΠ½Π° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ.
ΠΠ°ΠΊ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎΡΡ, Π½Π° Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π»ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡ β ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ (ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ½Π°Ρ Π½ΠΎΡΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ). Π§Π΅ΠΌ Π²ΡΡΠ΅ Π΅Π΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ, ΡΠ΅ΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π½ΠΈΠΆΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π» ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π»ΠΈΠΌΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠ° ΠΠΠ. ΠΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ Π½Π° ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ 1β2N [2].
ΠΠΌΠ΅ΡΠΈΠΊΠ°Π½ΡΠΊΠ°Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ Oxford VUE Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ°Π΅Ρ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Vis-U-Etch Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ 0,04N (!) Π±Π΅Π· ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΠΠ [1]. Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Vis-U-Etch ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ΅ΠΌ Π½Π° 200 ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΡΠΈΡΡΠΈΡΡ ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΌΠΈΡΡ ΠΈ Π΄Π°ΡΡ ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ. ΠΠ°ΠΏΠ°Ρ Π½Π° ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π° ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π° ΡΠΎΡΠΎΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π΅ Π½Π΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ 75 ΠΌΠΊΠΌ [3]. ΠΠΎ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΠΊ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ. ΠΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ Ρ ΠΎΡΡ ΠΈ ΠΊ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ, Π½ΠΎ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡΠΌ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ ΠΊ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ΄Π΅ΡΡ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΈΠΏΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΈ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΡΠ΅ΡΠΈΠΉΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΠ Π² Π ΠΎΡΡΠΈΠΈ ΡΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ Π½Π΅ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΌ ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΈΠ΅ΠΌ, ΡΠ΅Π³ΠΎ Π½Π΅Π»ΡΠ·Ρ ΡΠΊΠ°Π·Π°ΡΡ ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ.
Π©Π΅Π»ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎ-Π°ΠΌΠΌΠΈΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ
Π ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, Π² ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΠΎΠΌ Π²ΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΡ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠ° Π²Π»ΠΈΡΡΡ Π½Π° Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ:
- pH;
- ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ;
- ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Ρ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄-ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ²;
- ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°.
ΠΠ»Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π°ΠΈΠ»ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΠΎΠΌΠΈΡΡΠ° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π½Π°ΠΈΠ²ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ΠΉ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΠΈΠ· ΡΡΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² [2].
pH>
Π£ΡΠΎΠ²Π΅Π½Ρ pH ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° β ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°ΠΌΠΌΠΈΠ°ΠΊΠ° (NHΠ3), ΡΡΠ°ΡΡΠ²ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎ Π²Π°Π½Π½ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ pH ΠΎΡ 8,0 Π΄ΠΎ 8,5, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΡ pH β Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ (ΠΏΡΠΈ pH = 7,8). Π‘ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΏΡΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ pH Π² ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ , pH Π²Π°Π½Π½Ρ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. Π ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠΈΠ½ΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ [Cu(NH3)2+], ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ Π² Ρ ΠΎΠ΄Π΅ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅Ρ Π½Π° Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΠ΅Π½ΠΊΠ°Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡ. ΠΠ½Π° Π²ΡΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π΅ΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ, Π·Π°ΡΠΈΡΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π½ΠΊΠΈ ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ, ΠΏΡΠΈ Π½Π°ΠΈΠ²ΡΡΡΠ΅ΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ pH, ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° Π² ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°ΠΌΠΌΠΈΠ°ΠΊΠ° ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° Π±ΡΡΡΡΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΡΡΡ. ΠΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈ pH = 8,5 Π½Π° 30β40% Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΈ pH = 8,1. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π΄Π»Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π°ΠΈΠ»ΡΡΡΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ² ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ pH.
ΠΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ
ΠΡΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π² ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠΡΠΈ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡΡ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π½Π΅ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌΡΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠΈΠ½ΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ [Cu(NH3)2+] Π²ΡΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ. Π Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π΄Π»Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° Π²Π°Π½Π½ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡβ140β165 Π³/Π» (Cu).
ΠΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Ρ Π»ΠΎΡ-ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ²
ΠΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Ρ Π»ΠΎΡ-ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°Π΅Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Ρ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄Π° Π°ΠΌΠΌΠΎΠ½ΠΈΡ (NH4Cl) Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅. ΠΡΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Ρ Π»ΠΎΡ-ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ Π² ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΡ Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΡ, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠ΅ Ρ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄-ΠΈΠΎΠ½Ρ, ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π²ΡΡΡΡΠΏΠ°ΡΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π±ΡΡΠ΅ΡΠ° Π² ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ΅Π°Π³Π΅Π½ΡΠ΅, Π·Π°Π΄Π°Π²Π°Ρ ΡΠ·ΠΊΠΈΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ pH.
Π Π²Π°Π½Π½Π΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Ρ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄-ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ. Π’ΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π°Π³ΡΠ΅ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌ ΠΏΡΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Ρ Π»ΠΎΡ-ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π²ΡΡΠ΅ ΡΡΠ΅Ρ ΠΈΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ (2 ΠΌΠΎΠ»Ρ Ρ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄Π° Π°ΠΌΠΌΠΎΠ½ΠΈΡ Π½Π° 1 ΠΌΠΎΠ»Ρ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ). ΠΡΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡ Π½Π° Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΠ΅Π½ΠΊΠ°Ρ , ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠΈΠ½ΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ. ΠΠ»Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π°ΠΈΠ»ΡΡΡΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ² ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠΎΠ»ΡΡΠ½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Ρ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄Π° Π°ΠΌΠΌΠΎΠ½ΠΈΡ Π½Π° ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ Π² 1,9β2 ΡΠ°Π·Π° Π²ΡΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ.
Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°
Π‘ ΡΠΎΡΡΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π²Π°Π½Π½Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΈ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠΎΠΌΠΏΡΠΎΠΌΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Π²Π°Π½Π½ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ 43β48 Β°Π‘, Ρ ΠΎΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°ΡΡ ΠΈ 55 Β°Π‘. ΠΡΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° ΠΈΡΠΏΠ°ΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π°ΠΌΠΌΠΈΠ°ΠΊΠ°, ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ pH Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π²Π΅Π½ΡΠΈΠ»ΡΡΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΠΎΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅.
ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π²Π°Π½Π½ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ Π² ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ 1.
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 1. ΠΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ
ΠΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠΈ
Π‘Π΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ°ΡΡ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠΈ Π² ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΡΡΠ²ΡΡΡ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΎΡΡΠΎΠΏΠ½ΠΎΠΌΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ·ΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΡΠΈ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΡΠΏΡΠΎΡΠΎΠΌ, Π½Π΅Ρ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΏΡΡΠΌΡΡ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ , ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅ΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΡ ΠΎΠ± ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΎΠΊ.
ΠΠ°Π»Π°Π½Ρ Π²Π΅Π½ΡΠΈΠ»ΡΡΠΈΠΈ
ΠΠ΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ Π±Π°Π»Π°Π½Ρ Π²Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊΠ° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π°. ΠΠ»Ρ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π°. ΠΡΡΡΠΆΠ½Π°Ρ Π²Π΅Π½ΡΠΈΠ»ΡΡΠΈΡ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ Π°ΠΌΠΌΠΈΠ°ΠΊΠ° Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΌ ΡΠ. ΠΠ΅ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ Π±Π°Π»Π°Π½Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ Π·Π°ΡΠ΅Π»Π°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΌΡΠ²ΠΊΠΈ ΠΈ Π²ΡΠΏΡΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° Π½Π° ΠΠ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π·Π°Π³ΡΡΠ·Π½ΠΈΡΡ Π²ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠΡΠΈ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π° Π½Π΅ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ Ρ Π²Π°ΡΠ°ΡΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° Π΄Π»Ρ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ ΠΊ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° ΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ.
ΠΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ
ΠΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±ΡΠ°Π½Π½Π°Ρ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠ° β ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡΡ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΡ ΠΈ Π½Π΅ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΡ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ². Π’ΠΎΡΠΊΠ° Π±ΡΠ΅ΠΉΠΊ-ΠΏΠΎΠΉΠ½ΡΠ° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±ΡΡΡ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π° Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ 80β85%. ΠΡΠ»ΠΈ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π°Π²ΡΡΠ΅Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ Π½Π΅ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ ΠΊ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π² Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΎΠΏΠ°ΡΠ΅ Β«ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡβΠΌΠ΅Π΄ΡΒ» ΠΌΠ΅Π΄Ρ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π±ΡΡΡΡΠΎ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ Π΄Π²ΡΡ ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΠ³ΠΎΠ½ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΡΠΎΡΠΊΡ Π±ΡΠ΅ΠΉΠΊ-ΠΏΠΎΠΉΠ½ΡΠ° Π½Π° 75% [4].
ΠΡΠ°ΠΊ, ΠΌΡ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Π»ΠΈ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΡ, Π²Π»ΠΈΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π° ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎ Π»ΠΈΡΡ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ ΠΏΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ ΡΠ΅ΡΠ°Π΅Ρ. Π’ΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΈ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π³ΠΎΠ²ΠΎΡΠΈΡΡ ΠΎ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°.
ΠΡΠ±ΠΎΡ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ
ΠΡΠ±ΡΠ°Π² Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΈΠ² ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ, Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° Π½Π° Π²ΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²ΠΈΠΌΠΎΠΉ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ. Π Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠ°ΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ.
Π Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ
Π Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΡΡΡΠ½ΠΎΠΊ Π½Π° ΡΠ°ΠΌΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ (ΠΎΡΡΠΈΠ»Π»ΡΡΠΈΠ΅ΠΉ). ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΡΠΊΡΠ°Π½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ°Π²ΠΈΠΌΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠ»Π΅ΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π΅Ρ ΡΠ΅ΡΡΠ΅Π·Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΡΡΡΠΎ ΡΡΠΎΡ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡ ΡΡΠΎΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π·Π°Π΄Π°Ρ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΈ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Π Π°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠΈΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΠΈΡΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ Chemcut (Π‘Π¨Π). ΠΠ° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ΅ΠΌ 50-Π»Π΅ΡΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠΏΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π²ΡΡΠΎΡΠ°ΠΉΡΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΅Π΅ Π΄Π΅ΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ Π°ΡΡΠΎΡΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ° β ΡΡΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅Π·Π΅ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ.
ΠΡΠ΅ Π½Π°ΠΈΠ»ΡΡΡΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ Π² Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ CC8000. ΠΠ° ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ Ρ 2004 Π³ΠΎΠ΄Π° ΡΡΠΏΠ΅ΡΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΏΡΡΠ΅Π½ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 80 ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ.
ΠΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ΅ΡΠΆΠ½ΠΈ Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ Chemcut CC8000 ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Ρ Π½Π° ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ 41 ΠΌΠΌ Π΄ΡΡΠ³ ΠΎΡ Π΄ΡΡΠ³Π°. ΠΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅ΡΠΈΠΊΠΎΠ² Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΌ 50 ΠΌΠΌ, ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π½Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡ ΡΡΠ°Π½Π³ΠΈ ΠΊΡΡΠ°Π½Π³Π΅, ΠΎΠ½ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ Π΄ΡΡΠ³ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ Π² ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΠ΅ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΠΌ ΡΠΊΠ°ΡΡΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΊΡΠ°Ρ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΊΠΎΠ»Π΅ΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π½Π° Π΄Π½ΠΎ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ. Π‘Π»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΉ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΊΠΎΠ»Π΅ΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π±Π΅Π· ΡΡΠ΅ΡΠ±Π° Π΄Π»Ρ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ·ΡΠΌΠΈΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ Π’ΠΠ’-ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠ° ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ S-ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ»Π΅ΡΠΈΠΊΠΈ (S-Wheel) (ΡΠΈΡ. 5). ΠΠ±ΠΎΠ΄ΠΎΠΊ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ»Π΅ΡΠ° ΠΈΠ·Π²ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π±ΡΠΊΠ²Ρ S. Π¨ΠΈΡΠΈΠ½Π° Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 25,4 ΠΌΠΌ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ° ΠΏΡΠΈ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΊΡΠ°Π½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊΠ° ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ.
ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π΄ΠΎΡΡΠΈΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ S-ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Ρ Π½Π°ΡΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎ Π΄ΡΡΠ³ ΠΊ Π΄ΡΡΠ³Ρ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π±Π΅Π· ΡΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π² ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅ΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΡΠΎ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΡΠ΅ΡΠΆΠ½Ρ. ΠΠ°Π½Π½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° ΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π° ΡΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ S-ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Ρ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π½Π³Π΅ Ρ Π΄Π²ΡΠΌΡ ΠΌΡΠ³ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠ»Π΅ΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ Ρ ΠΏΡΡΠΌΡΠΌ, Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΠ΄ΠΊΠΎΠΌ.
Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° S-Wheel ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡ Π²ΡΠ΅ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ 50 ΠΌΠΊΠΌ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½ΡΠ΅ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ 25 ΠΌΠΊΠΌ Π±Π΅Π· ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ°ΡΠ°ΠΏΠΈΠ½ Ρ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠ΅ΠΉ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. Π‘ΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 75 ΠΌΠΊΠΌ Π½Π° 35 ΠΌΠΊΠΌ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ 2 ΠΌΠΊΠΌ.
Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° ΠΏΡΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠΈ
ΠΠ° ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π΅Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ Chemcut Π² ΡΠΎΡΡΡΠ΄Π½ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³Π°ΠΌΠΈ ΠΈ Π½Π°ΡΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠΈΠ»ΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ. ΠΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ β Intermittent Spray Etch Equalizer: ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° ΠΏΡΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠΈ.
Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° Intermittent Spray Etch Equalizer (ΡΠΈΡ. 6) ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ»ΡΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° Π²Π΄ΠΎΠ»Ρ Ρ ΠΎΠ΄Π° Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ.
Π‘ΡΡΡ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΉ ΠΈ Π·Π°Π΄Π½Π΅ΠΉ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠ°Ρ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ (ΠΏΠΎ Ρ ΠΎΠ΄Ρ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠ°) ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ, ΡΠ΅ΠΌ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ, Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ Π½Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π½ΡΡ ΠΈ Π·Π°Π΄Π½ΡΡ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠΈ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ.
ΠΠ΅ΡΠ΅Π΄ Π½Π°ΡΠ°Π»ΠΎΠΌ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²Π²ΠΎΠ΄ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ Π½Π° Π΄ΠΈΡΠΏΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠ°Π½Π΅Π»ΠΈ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ:
- Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ;
- Π΄Π»ΠΈΠ½Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΉ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠΈ;
- Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π·Π°Π΄Π½Π΅ΠΉ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠΈ.
ΠΡΠ΅ Π²Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π»ΠΈΠ½ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΡ, ΠΏΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠ°.
Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° Intermittent Spray Etch Equalizer ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π΅Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠΎΠ³Π΄Π°, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½Π° ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΎΡΠΎΠΌ. Π ΠΎΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ±ΡΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ Π²ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π² ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ΠΉ ΡΠΎΡΠΌΠ΅, ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠ°Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ.
ΠΠΎΠ³Π΄Π° ΠΆΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° Π°ΠΊΡΠΈΠ²ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π°, ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ° ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π² ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ (ΡΠΈΡ. 7):
- ΠΠΎΡΠ»Π΅ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π°ΡΠΈΠΈ Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠ°, ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π½Π° ΠΏΠΎΡΡΡΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ, ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° Ρ ΡΡΠ΅ΡΠΎΠΌ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠ° ΠΈ Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ Π²ΡΡΠΈΡΠ»ΡΠ΅Ρ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ, ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ 1-Ρ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΡΡΠ±ΠΊΠ°.
- ΠΠΎΠ³Π΄Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π½ΡΡ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠ° ΠΏΠ°Π½Π΅Π»ΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΠ±ΠΊΠΈ, ΡΡΠ° ΡΡΡΠ±ΠΊΠ° ΠΎΡΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ.
- ΠΠΎΠ³Π΄Π° Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅, ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΉ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠΈ (Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΎΡΠΎΠΌ Π² Π½Π°ΡΠ°Π»Π΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ), ΠΏΡΠΎΠΉΠ΄Π΅Π½ΠΎ, 1-Ρ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΡΡΠ±ΠΊΠ° ΡΠ½ΠΎΠ²Π° Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ.
- 1-Ρ ΡΡΡΠ±ΠΊΠ° ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΡ, ΠΏΠΎΠΊΠ° Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° Π½Π΅ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π½Π΅Ρ Π·ΠΎΠ½Ρ Π·Π°Π΄Π½Π΅ΠΉ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠΈ. ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΠ½Π° ΠΎΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π΄ΠΎ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ°Ρ. Π ΡΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π²ΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΡΡΠ±ΠΊΠ° ΠΎΡΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π½ΡΡ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠ° Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅Ρ Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ.
- ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ Π²ΡΠ΅ΠΉ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΉ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΠ±ΠΊΠΎΠΉ 2 ΡΡΠ° ΡΡΡΠ±ΠΊΠ° Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ.
- 1-Ρ ΡΡΡΠ±ΠΊΠ° Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΉ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ, 2-Ρ ΡΡΡΠ±ΠΊΠ° ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°Π΄Π½Π΅ΠΉ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠΈ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ. ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΠ½Π° ΠΎΡΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ, ΠΏΠΎΠΊΠ° Π²ΡΡ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° Π½Π΅ Π²ΡΠΉΠ΄Π΅Ρ ΠΈΠ· Π·ΠΎΠ½Ρ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ 2.
ΠΠ½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π»ΠΈΠ½Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΉ ΠΈ Π·Π°Π΄Π½Π΅ΠΉ ΠΊΡΠΎΠΌΠΎΠΊ, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡ Π·ΠΎΠ½Ρ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π½ΡΡΡΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠΈ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ Π·ΠΎΠ½ 1 ΠΈ 2, ΡΡΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡΠ΅Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠΌ. ΠΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ.
ΠΠ° ΡΠΈΡ. 8 ΡΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° (Π½Π΅ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ) ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΡΠ° ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΠΎΡΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ Intermittent Spray Etch Equalizer. ΠΡΠ½ΠΊΡΠΈΡΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½Π° ΠΊΡΠΈΠ²Π°Ρ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ. Π Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΡΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π½Π° 30%.
ΠΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΡ Π»ΡΠΆΠΈΡ Π½Π° Π²Π΅ΡΡ Π½Π΅ΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Π΅ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠΊ
ΠΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π² Chemcut Π‘Π‘8000 ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½ΠΎΠ²Π°Ρ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΈ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°. Π£ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΌΡ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π»ΡΠΆΠΈΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΡΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ².
ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°Π½Π½Π΅ΠΉ ΡΠ΅ΡΠΈΠΈ Chemcut Sigma Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΎΡΠ½Π°ΡΠ΅Π½Ρ 42 ΡΠΎΡΡΡΠ½ΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ 5,7 Π»/ΠΌΠΈΠ½, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»ΡΡΡ 238 Π»/ΠΌΠΈΠ½ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΡ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ, ΡΡΠΎ Π΄Π°Π²Π°Π»ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅Ρ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 762 ΠΌΠΌ. Π£ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Chemcut ΡΠ΅ΡΠΈΠΈ Π‘Π‘8000 ΠΎΡΠ½Π°ΡΠ΅Π½Ρ 96 ΡΠΎΡΡΡΠ½ΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ 1,9 Π»/ΠΌΠΈΠ½, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»ΡΡΡ 181,4 Π»/ΠΌΠΈΠ½ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΡ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΡ ΡΡ ΠΆΠ΅ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄Ρ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈ Π»ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ Π² ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠ°. ΠΠΎΠ²Π°Ρ ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠ°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΡ ΡΠ°ΠΌΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ Π²Π΅ΡΠΈΡ, Π΅Π΅ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΠΈΠ·Π²Π»Π΅ΠΊΠ°ΡΡ ΠΈΠ· ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ Π½Π° ΡΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ°Π·Π±ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ΄ΠΎΠ±ΡΡΠ²Π° ΡΠΈΡΡΠΊΠΈ (ΡΠΈΡ. 9).
Π Π΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ»Ρ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ
Π£ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Chemcut Π‘Π‘8000 ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΠΎΡΠ½Π°ΡΠ΅Π½Ρ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ (ΡΠΈΡ. 10). Π£ΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Ρ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΠ±ΠΊΡ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ»Ρ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ. ΠΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΡ Π½Π°ΡΡΡΠΎΠ΅ΠΊ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ΅ Ρ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ Intermittent Spray Etch Equalizer, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ΅ΠΉ Β«ΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ»ΡΒ» ΠΏΠΎ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π²Π΄ΠΎΠ»Ρ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠΊ, Π΄Π°Π΅Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π½ΡΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ° ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ.
Π Π΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ° Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π²Π΅ΡΡ /Π½ΠΈΠ·
ΠΡΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Chemcut ΠΎΡΠ½Π°ΡΠ΅Π½Ρ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π° Π²Π΅ΡΡ Π½ΡΡ ΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ½ΡΡ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠΊ.
ΠΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, Π²Π»ΠΈΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π° ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ [5], ΠΈ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ Chemcut Π‘Π‘8000 ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ Π½Π° ΡΠΈΡ. 11:
- Π’ΠΠ’-ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅Ρ Ρ S-ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠ»Π΅ΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ (S-Wheel) Π΄Π»Ρ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΈ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ 25 ΠΌΠΊΠΌ.
- Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° Intermittent Spray Etch Equalizer, ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΡΠ°Ρ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΎΠΌΠΎΠΊ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Ρ.
- Π£ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ ΡΠ°ΠΌΠ° ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠΈΡΡΡΡΠ°Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π»ΡΠΆΠΈΡ Π½Π° Π²Π΅ΡΡ Π½Π΅ΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Π΅ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠΊ.
- Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΠ±ΠΊΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ»Ρ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ.
- Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π° Π²Π΅ΡΡ Π½ΡΡ ΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ½ΡΡ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ.
Π‘Π΅ΡΡΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠΌ Π½Π° ΡΡ Π΅ΠΌΠ΅ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ, ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΠΈΠ΅ΡΡ ΠΊ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π°Ρ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΡΡ ΡΡΠ΅Π½ΠΎΠΊ ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π° ΠΊ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅. ΠΠ°Π½Π½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π΅ΡΠ΅ Π½Π΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π° Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π±Π΅, Π½ΠΎ Π΅Π΅ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΡΠΆΠ΄Π°ΡΡ ΡΡΠ΅Π½ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΌΠΈΡΠ°. ΠΡΡΠΎΠΊΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠΌ [6]. ΠΠ»Π°ΡΠ° Π² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π°Π½ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π΄Π½ΠΎ ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΡΠ΅Ρ Π½Π° ΡΠ΅Π±Π΅ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ°, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡΡΡ Π½Π°ΠΈΠ»ΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ Π΄Π»Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΎΡΡΠΎΠΏΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠ΅ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°ΠΌΠΈΡ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ.
ΠΡΡΠ³ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ² ΡΠ΅ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ β ΡΡΠΎ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ²ΠΎΡΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ΅ΡΠΎΠΊ, ΡΠ΅Π»Ρ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ β ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π°ΡΡΡΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ½ΡΠΉ Π±Π°ΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π² ΡΠ·ΠΊΠΈΡ ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π°Ρ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ»Π°Π²Π½ΡΠΉ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΠΊ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° β Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° ΡΠ΅ΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ.
ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° Π² ΡΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°Π½Π°Π»Ρ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ (ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 75 ΠΌΠΊΠΌ) ΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΈ ΠΈ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°, ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠ΅ΡΡ Π² Π°ΡΡΠ΅Π½Π°Π»Π΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ»Π΅ΠΌΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌ.
ΠΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ Chemcut Π‘Π‘8000
ΠΠ΅ΡΠ΅Π΄ Π·Π½Π°ΠΊΠΎΠΌΡΡΠ²ΠΎΠΌ Ρ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ°ΠΌΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡΡ Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°Ρ ΠΈ ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΈΡΡ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ.
ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ° ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠΈ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ²
Π’Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΡΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ, Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΡΠ°ΡΠΈΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π±Π°Π·Ρ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ , ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΎ Π±Ρ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ² ΡΠ΅ΡΡΠΎΠ². ΠΡΠΎ ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ, ΡΡΠΎ 9β10 ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ. Π’ΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌ 50 ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡ. ΠΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π²ΡΡΡΠ½ΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ° ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΊΠ°Π½Π΅ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΡΠ΅Π½ ΡΡΡΡΡ ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡ Π·Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡΡΠΎΠΊ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ. Π ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ Chemcut ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΡΠΊΠ°Π½Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠ΅ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅. Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡ Π² ΡΡΠΎΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π΅ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΡ, Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡΠΈΠ΅ Π΅Π΄Π²Π° ΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΌΡΠ΅, Π½ΠΎ ΡΡΠ΅Π·Π²ΡΡΠ°ΠΉΠ½ΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠ΅ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ.
Π 1985 Π³ΠΎΠ΄Ρ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡΡ Chemcut Π½Π°ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΈ, ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Ρ ΠΈΠ· ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎΠΉ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°. Π‘ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΡΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΡΡ (Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΠΎΡΡΠ΅ΠΌΠΎΡΡΡΡ) ΠΊΠ°ΡΡΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΡΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΊΠΈΠΉ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ²Π°Π». ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΎ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡΠ°ΠΌ Chemcut Π±ΡΡΡΡΠΎ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠΈΡΡ ΠΈ ΠΈΠ΄Π΅Π½ΡΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΡ Π»ΡΠ±ΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΊ.
Π Π½Π°ΡΠ°Π»Π΅ 1990-Ρ Π³ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π±ΡΠ» ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΎΡΡΠΈΡΠΌ ΠΈΠ· Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ Π²Π΅Π΄ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π½Π΅Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎ Π΄ΡΡΠ³ ΠΎΡ Π΄ΡΡΠ³Π° ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π» Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ΅ΡΡΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°. ΠΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ Conductor Analysis Technologies (CAT) Π±ΡΠ»Π° ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π° Π΄Π»Ρ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΎΡΡΠΈΡΠΌΠ°, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π²ΡΠΊΠΎΡΠ΅ Π½Π°ΡΠ°Π»Π° ΠΏΡΠ΅Π΄Π»Π°Π³Π°ΡΡ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΡΠ»ΡΠ³ΠΈ Π½Π° ΡΡΠ½ΠΊΠ΅ Π½Π° ΠΏΠ»Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅. Π‘ ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΡ ΡΠ΅ΡΡ CAT ΠΈ ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Ρ ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠΎΠΌ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠΈ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΡΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΈ ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ Chemcut Π½Π°ΡΠ°Π»Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Ρ CAT Π² 1995 Π³ΠΎΠ΄Ρ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π±ΡΠ»Π° Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΡΡ Ρ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ°ΠΌΠΈ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, CAT ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ Π΄Π»Ρ Π½Π΅Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΠΉ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ². Π¨Π°Π±Π»ΠΎΠ½Ρ ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡ ΡΡΠ΅Π·Π²ΡΡΠ°ΠΉΠ½ΠΎ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ², ΠΎΠ½ΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Ρ ΠΊ Π»ΡΠ±ΡΠΌ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡΠΌ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ.
Π‘ΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»Ρ ΡΠ΅ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ CAT Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ°Π³ΠΎΠΌ Π²ΡΠ³Π»ΡΠ΄ΠΈΡ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ Π½Π° ΡΠΈΡ. 12. ΠΠΎΠ΄ΡΠ»Ρ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΈ ΡΡΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π½ΠΈΠΌΠΈ. ΠΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π²Π°ΡΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡ 25β100 ΠΌΠΊΠΌ (ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ) ΠΈ 25β75 ΠΌΠΊΠΌ (Π·Π°Π·ΠΎΡ) ΠΈ Π΄ΠΎ 200β275 ΠΌΠΊΠΌ (ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ) ΠΈ 200β255 ΠΌΠΊΠΌ (Π·Π°Π·ΠΎΡ). ΠΠΎΠ΄ΡΠ»Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°Ρ ΡΠΎ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ 25 ΠΌΠΌ, Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 63,5 ΡΠΌ.
Π’Π΅ΡΡΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½, ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠ· ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»Π΅ΠΉ, ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈ 457^610 ΠΌΠΌ. Π¨Π°Π±Π»ΠΎΠ½ ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»Π΅ΠΉ 16 Π½Π° 22 ΡΡ. (Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ 352 ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»Ρ), ΠΏΡΠΈΡΠ΅ΠΌ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΡΡ Π½Π° 90Β°. Π ΠΈΡΠΎΠ³Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠ°Ρ ΠΌΠ°ΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΈΠ³ΡΡΠ°ΡΠΈΡ (ΡΠΈΡ. 13, 14).
ΠΡΠΈΡΠ΅ΡΠΈΠΈ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠΈ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ² ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ
Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² (Π² ΠΌΠΊΠΌ) ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ Π² ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ°Ρ ΠΈ Π½Π° ΡΡΠ΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΊΠ°ΡΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° CAT. Π ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ ΠΎ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, ΡΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΡΡ , ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»Π΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
Π‘ΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ β ΡΡΠΎ ΡΡΠ°ΡΠΈΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π°, Π²ΡΡΠ°ΠΆΠ°ΡΡΠ°Ρ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π½Π°ΠΉΠ΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π² Π³ΡΡΠΏΠΏΠ΅ ΡΠΈΡΡ. Π§Π΅ΠΌ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ΅Π΅ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅. ΠΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° CAT Π΄Π»Ρ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠΈ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ Chemcut ΡΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΈΡΠΌΠΈ.
Π‘ΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅:
- 3,175β3,810 β ΡΠ΄ΠΎΠ²Π»Π΅ΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²/Π·Π°Π·ΠΎΡΠΎΠ² 100 ΠΌΠΊΠΌ.
- 2,540β3,175 β Ρ ΠΎΡΠΎΡΠ΅Π΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²/Π·Π°Π·ΠΎΡΠΎΠ² 75 ΠΌΠΊΠΌ.
- β€2,540 β ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π΄Π»Ρ Π»ΡΠ±ΡΡ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²/Π·Π°Π·ΠΎΡΠΎΠ².
ΠΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π» ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° (Π‘Ρ) ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»Π° ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΡΠΌ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ: Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π²Π΅ΡΡ Π½ΠΈΠΌ ΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ½ΠΈΠΌ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠΉ Π½Π° 6-ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅.
ΠΠ΅ΡΡ Π½ΠΈΠΉ ΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π» Π΄Π»Ρ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ Β±20% ΠΎΡ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΡΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°. ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ Π‘Ρβ₯1,33 ΡΡΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΈΠΌΡΠΌ ΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΌ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΡΠΌ.
Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠ°
Π ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ 2 ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°/Π·Π°Π·ΠΎΡΠ° 75 ΠΌΠΊΠΌ Π½Π° Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ°Ρ 457Γ610 ΠΌΠΌ ΠΈΠ· 125-ΠΌΠΊΠΌ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΡΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ° Ρ 35-ΠΌΠΊΠΌ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΎΠΉ.
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 2. Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²/Π·Π°Π·ΠΎΡΠΎΠ² 75 ΠΌΠΊΠΌ Π½Π° 35 ΠΌΠΊΠΌ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠ°
ΠΠ° ΡΠΈΡ. 15 ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ ΡΡΠ΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠΈ. ΠΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΡΠ²Π΅Ρ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°Π΅Ρ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Π² 2,5 ΠΌΠΊΠΌ.
Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ TMT-ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠ° Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΈ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²
Π’Π΅ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΎΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Π·Π°Π·ΠΎΡΠΎΠ² 75 ΠΌΠΊΠΌ Π½Π° Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ°Ρ 457Γ305 ΠΌΠΌ, Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΎΠΉ 35 ΠΌΠΊΠΌ Π½Π° 75-ΠΌΠΊΠΌ ΡΠ΅ΡΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΌ Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π΅. Π‘Π½Π°ΡΠ°Π»Π° Π΄Π»Ρ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»Π°ΡΡ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΡΠΎ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΡΠΌ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠΎΠΌ. ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ΄Π½Ρ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΡ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π»ΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° (ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΈ). ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΈ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π° ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ S-Weel, ΠΎΡΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π»ΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ Π²Π΅ΡΡ Π½Π΅Π΅ ΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅Π΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π»Π° ΡΠΎΠΉ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»Π°ΡΡ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠ΄ΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅. Π ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° Π΅ΡΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ. Π¨ΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΠ±Π΅ΠΈΡ ΠΏΠ»Π°ΡΠ°Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»ΠΈ ΠΈ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠ»ΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π‘ΠΠ’-ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ². ΠΠ»Π°ΡΡ Π±ΡΠ»ΠΈ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½Ρ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΊΠ°Π½Π΅ΡΠ° AEI TOMM.
ΠΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π° Π’ΠΠ’-ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠ΅ Π²ΡΠ·Π²Π°Π»Π° Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΡΠΊΡΠ°Π½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π»ΠΎ ΠΊ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠ° Ρ 0,64 Π΄ΠΎ 0,56 ΠΌ/ΠΌΠΈΠ½, Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΡ ΠΆΠ΅ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°. ΠΡΠΎΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΠΎΠΌΠΈΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌ Π΄Π»Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².
ΠΠΊΡΠ°Π½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π»ΠΎ ΠΊ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π±Π°Π»Π°Π½ΡΠ° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² Π²Π΅ΡΡ Π½Π΅ΠΉ ΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ (ΡΠ°Π±Π». 3).
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 3. ΠΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π½Π°ΡΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ TMT-ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠΎΠ²
Π ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ 4 ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 75 ΠΌΠΊΠΌ Π½Π° Π΄Π²ΡΡ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΡΡ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠΊ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ CAT. Π‘ΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π²Π΅ΡΡ Π½Π΅ΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ Π½Π° ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠ°Ρ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ 2,28β2,43 ΠΈ Π½Π΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΡΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ, Π²Π»ΠΈΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅.
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 4. Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² 75 ΠΌΠΊΠΌ β Π½ΠΈΠΆΠ½ΡΡ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Π°
ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π’ΠΠ’-ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠ°, ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΡΡΡΡ Π² ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅. ΠΠ° ΡΠΈΡ. 16 ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ ΡΡΠ΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠΈ. ΠΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΡΠ²Π΅Ρ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°Π΅Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ Π² 2,5 ΠΌΠΊΠΌ Π² ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°.
Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΡΠΌ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²/Π·Π°Π·ΠΎΡΠΎΠ² ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 50 ΠΌΠΊΠΌ
Π ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ 5 ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²/Π·Π°Π·ΠΎΡΠΎΠ² ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 50 ΠΌΠΊΠΌ Π½Π° Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ 457Γ610 ΠΌΠΌ ΠΈΠ· ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΡΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ° ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 125 ΠΌΠΊΠΌ Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΎΠΉ 17 ΠΌΠΊΠΌ.
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 5. Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΡΠΌ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 50 ΠΌΠΊΠΌ
ΠΠ° ΡΠΈΡ. 17 ΡΡΠ΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊ Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΡΠ²Π΅Ρ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ°Π΅Ρ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π² 2,5 ΠΌΠΊΠΌ.
ΠΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ CC8000 Π½Π΅ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ. Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΡ-ΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ΠΎΠ² CAT Ρ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²/Π·Π°Π·ΠΎΡΠΎΠ² 25 ΠΌΠΊΠΌ Π½Π° ΡΠΎΠ»ΡΠ³Π΅ 6 ΠΌΠΊΠΌ Π΄Π°ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π² 1 ΠΌΠΊΠΌ (!).
ΠΡΡΠ³ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ CC8000 β ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΈ Π΄ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Ρ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ 9 ΠΈΠ»ΠΈ 6 ΠΌΠΊΠΌ. ΠΠΎ-ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ , ΡΡΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π΄Π΅ΡΠ΅Π²ΡΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠΈ Ρ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΎΠΉ. ΠΠΎ-Π²ΡΠΎΡΡΡ , ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΈ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ, Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΡΠ΅ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΈ Π½Π° ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΡΡ Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°Ρ Ρ ΡΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΎΠΉ Π² ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΠΊΠΈ. ΠΡΠΎ Π΅ΡΠ΅ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ (ΡΠΈΡ. 2), ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠ° ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π°ΠΏΡΡΠΌΡΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΈ ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ.
ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅
ΠΠ°ΠΊ ΠΏΡΠΈ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠ΅ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ΅ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ, Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠΎΠ·Π½Π°Π²Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΡΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°Π΅Ρ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π² ΡΠ΅Π»ΠΎΠΌ, Π° Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. Π Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΡΠΌ, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΡΠΈΠΌ Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΡΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΈ ΠΈ Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°, ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΠΈΠΏΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°, ΡΠΈΠΏΠ° ΡΠΎΡΠΎΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠ° ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠ°Π²Π΄ΠΈΠ²ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΡΡΠΈΠ½Ρ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ.
ΠΡΠ»ΠΈ Π²ΡΠ΅ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Ρ ΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ, 70β80% Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΡΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Π²ΡΠ·Π²Π°Π½Ρ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠΌ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠ»ΠΈ ΠΆΠ΅ ΠΎΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π΅ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡΡΡΡ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ 30β40% ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ Π²ΡΠ·Π²Π°Π½Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠΌ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΡΠΎ ΠΎΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Π΄Π»Π΅ΠΆΠ°ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. Π‘Π°ΠΌΠ° ΠΏΠΎ ΡΠ΅Π±Π΅ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΡΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ² Π»ΡΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ΅, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠΈΡ Π² ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΡ.
Π€Π°ΠΊΡΠΎΡ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ β Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π°, Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡΠ°Ρ ΠΎΡ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Ρ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΈ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠ² ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. Π Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠ΅ΠΉ, ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ»ΡΠΆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠ΅ΡΠΎΠΌΠ½Π΅Π½Π½ΠΎ, Π΄Π΅ΡΠ΅Π²ΡΠ΅ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ΅ ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡ ΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠΌ ΠΈΠ½Π²Π΅ΡΡΠΈΡΠΈΠΉ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΆΠ΅Π»Π°ΡΡ Π»ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ.
ΠΠΈΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°
- Dietz K. Fighting the Etch Factor and Etch NonUniformity. July 1, 2002. Fine Lines in High Yield (Part LXXXII).
- ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ Chemcut, www.chemut.net
- Π‘ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠ½Π° Π’. Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΡΠ΅Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Ρ Π»ΠΎΡΠΈΠ΄Π° ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Vis-U-Etch5 Π² ΠΊΠΈΡΠ»ΡΡ ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°Ρ // Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ. 2005. β 1.
- Dietz K. Alkaline Etching (Part A). January 1, 2005. Fine Lines in High Yields (Part CXII).
- Dietz K. Alkaline Etching (Part B). February 1, 2005. Fine Lines in High Yields (Part CXII).
- Electrochemical etching of circuitry for high density interconnect electronic modules, www.freshpatents.com