Кварцевые резонаторы | ООО Пьезотрон
Конструктивно пьезоэлектрический резонатор состоит из пьезокристаллического элемента (кварца, ниобата или танталата лития, лангасита или других пьезоэлектриков), на который нанесена плёнка металла (чаще всего серебра или никеля), держателя, в котором крепится пьезокристаллический элемент, и корпуса с выводами, в котором размещён держатель с закреплённым в нём пьезокристаллическим элементом. Диапазон частот используемых в настоящее время пьезоэлектрических резонаторов на объёмных волнах находится в пределах от нескольких килогерц до нескольких сотен мегагерц.
Историческая справка
Пьезоэлектрический резонатор был изобретён американским учёным У. Кэди в 1920 г. Начиная с первой половины 20-го века пьезоэлектрические кварцевые резонаторы нашли широкое применение в радиосвязи для стабилизации частоты генераторов электромагнитных колебаний. При включении резонатора между выходом и входом лампового усилителя возникает цепь положительной обратной связи и осуществляется возбуждение на частоте собственных колебаний резонатора.
Эквивалентная электрическая схема резонатора
Колебательную систему резонатора можно представить в виде последовательно расположенных сопротивления Rk, динамических индуктивности Lk и ёмкости Ck и параллельно подключённой статической ёмкости C0.
На частоте последовательного резонанса, при котором динамические сопротивления, возникающие на Lk и Ck, компенсируют друг друга, пьезоэлектрический резонатор работает как активное сопротивление
При этом добротность можно представить в виде выражения
Основные параметры пьезоэлектрических резонаторов
Помимо добротности и динамического сопротивления к важнейшим параметрам пьезоэлектрических резонаторов относятся точность настройки по частоте, температурная стабильность частоты, долговременная и кратковременная стабильности частоты.
Точность настройки резонаторов по частоте в зависимости от предъявляемых требований может находиться в пределах от ±0,5·10-6 до ±20·10-6 и более.
Температурная зависимость частоты наиболее широко используемых кварцевых резонаторов среза AT графически представляет собой так называемую кубическую параболу с перегибом (точкой симметрии параболы) при +27°С.
Долговременная стабильность частоты пьезоэлектрических резонаторов зависит прежде всего от совершенства технологических процессов их изготовления. Для резонаторов широкого применения долговременная стабильность частоты находится в пределах (5-10)·10
Кратковременная стабильность частоты относится к выходным характеристикам генераторов. Но она также зависит от качества резонаторов, в первую очередь от добротности. Кратковременная стабильность может измеряться за определённые промежутки времени (1с, 1мс, 10с и т.д.). Например, к обычным генераторам могут предъявляться требования к кратковременной нестабильности 1·10-9 за 1мс.
Немаловажным параметром резонаторов является соотношение динамической (Сk) и статической ёмкостей (С0), поскольку от этого параметра зависит величина перестройки частоты генераторов с помощью реактивных элементов. Данный параметр для резонаторов одной частоты зависит от площади возбуждающих электродов и номера механической гармоники, на которой возбуждается резонатор. Частоту кварцевых резонаторов среза AT можно представить в виде формулы
F = n/2t C66/ρ ,
где n — номер механической гармоники;t — толщина пьезоэлемента;
C66 — модуль упругости среза AT;
Отношение C0 к Ck с переходом с первой (основной) на третью механическую гармонику увеличивается в 9 раз, на пятую механическую гармонику – в 25 раз, то есть пропорционально квадрату номера механической гармоники. При этом диапазон перестройки частоты генераторов с увеличением номера механической гармоники уменьшается в той же степени. Таким образом, использование резонаторов с возбуждением на том или ином номере механической гармоники зависит от сочетания требований к пределам перестройки, с одной стороны, и, с другой стороны, от требований к долговременной стабильности, поскольку последняя при прочих равных условиях улучшается при увеличении номера механической гармоники. При этом необходимо учитывать влияние уровня возбуждения резонатора на параметры и долговременную стабильность частоты.
Пьезоэлектрические кварцевые резонаторы и их применение в датчиках
Пьезоэлектрический резонатор представляет собой электромеханическую систему, в которой используется явление прямого и обратного пьезоэффекта, которая обычно выполнена в виде двухполюсника, объединяющего системы электрического возбуждения механических колебаний и съема электрического сигнала, пропорционально их амплитуде. В виду целого ряда свойств одним из самых распространенных пьезоэлектриков, применяемых в пьезоэлектрических резонаторах, является пьезокварц. Кварцевые резонаторы имеют высокую добротность 107 и более, кратковременную и долговременную стабильность 10—4 до 10—7 , практически отсутствует гистерезис при механических, температурных и электрических воздействиях.
В виду бурного развития радиоэлектронной промышленности в последние десятилетия кварцевые резонаторы нашли широкое применение в генераторах стабильной частоты.
Опорные кварцевые резонаторы на стандартные частоты от 32 кГц до 12 МГц выпускаются несколькими предприятиями, в том числе и ООО «СКТБ ЭлПА» (г. Углич), но в последнее время спросом стали пользоваться миниатюрные опорные резонаторы. ООО «СКТБ ЭлПА» освоено производство миниатюрных:
- камертонных кварцевых резонаторов на частоты от 32 до 320 кГц в корпусах Ø1,5х5 и Ø2х6 мм.;
Рис. 1
Миниатюрные кварцевые резонаторы изготавливаются не только механической обработкой, но и групповым методом фотолитографии, который позволяет получить кварцевые детали сложной формы, включая мезаструктуры с воспроизводимостью размеров до 1 мкм.
СКТБ разработаны и изготовлены опытные образцы микроминиатюрного опорного резонатора для поверхностного монтажа на частоту 256 кГц, в кварцевом корпусе 3,3(4,3)х1,7х0,65(0,4) мм. Есть возможность изготавливать такие резонаторы на диапазон частот от 32 до 256 кГц.
Чувствительным элементом датчика температуры является камертонный кварцевый резонатор термочувствительного среза, который помещен в корпус размером Ø2х6 мм.
|
Тип резонатора |
|
РКТ206 |
РКТВ206 |
|
Номинальная частота, кГц |
32 .. 39 |
32 .. 39 |
Чувствительность, Гц/ºС |
1,9 |
2 |
Динамическое сопротивление, при температуре 25 ºС, кОм |
<75 |
<70 |
|
-55 . . +100 |
-55 .. +370 |
Градуировочная характеристика резонаторов описывается полиномом второй или третьей степени (погрешность аппроксимации в среднем – сотые доли градуса).
fT = f0 + A1(TT -T0)+ A2(TT -T0)2
Особенностью конструкции высокотемпературных кварцевых резонаторов РКТВ является применение в заделке высокотемпературного припоя и легкоплавкого стекла, что обеспечивает высокую предельную температуру и стабильность. В настоящее время ведется разработка высокотемпературных термочувствительных резонаторов с верхним пределом температуры выше +500 °С, на основе галлосиликата лантана.
ООО «СКТБ ЭлПА» выпускаются прецизионные манометрические кварцевые резонаторы абсолютного и избыточного давления РКМА-Р и БРКМ-Р, в которых применяются кварцевые силочувствительные резонаторы, представляющие из себя сдвоенный камертон ПС 27-40, полученный методом фотолитографии.
Особенностью конструкции является то, что силочувствительный резонатор крепится легкоплавким стеклом на кварцевую мембрану того же среза, что обеспечивает высокую прочность в широком диапазоне измеряемых давлений, малый воспроизводимый уход частоты в рабочем температурном диапазоне, малый гистерезис барочастотной характеристики (БЧХ), малый уход ноля, высокую разрешающую способность.
Основные технические характеристики РКМА и БРКМ представлены в таблице 2.
|
Тип резонатора |
|
РКМА-Р |
БРКМ-Р |
|
Номинальная частота, кГц |
30 . . 45 |
30 .. 45 |
Интервал рабочих давлений, МПа |
7х10—5 .. 100 |
0.1 .. 25 |
Чувствительность, Гц/МПа |
20000 .. 42 |
5500 .. 58 |
Гистерезис БЧХ, % |
<+0.02 |
<+0.02 |
Интервал рабочих температур, 0С |
-55 .. +80 |
-55 .. +80 |
Функциональная температурная погрешность, в диапазоне рабочих температур, % |
<±1 |
<±1 |
Изменение частоты в год, % (уход ноля) |
<+0. 02 |
<+0.02 |
Динамическое сопротивление, кОм |
<200 |
<200 |
Градуировочная характеристика резонаторов описывается полиномом второй или третьей степени (погрешность аппроксимации не более 0.05% и 0.02% соответственно).
f(р) = A0‘ + A1‘ P + A2 P2
Для компенсации температурной погрешности температурно-частотная характеристика описывается так же полиномом второй или третьей степени (см. пример рис. 2).
fp(t) = f0 + A1(TT -T0 )+ A2(TT -T0 )2
рис. 2
Манометрические резонаторы выпускаются с верхним пределом измерений абсолютного давления в соответствии с рядом: 0,1; 0,2; 0,25; 0,4; 0,6; 1,0; 1,6; 2,5; 4,0; 6,0; 10,0; 16,0; 25,0; 100,0 МПа. Допускается кратковременная перегрузка давлением в 130% от верхнего предела измерения, в настоящее время ведутся испытания новых конструкций РКМА, позволяющих выдержать кратковременную перегрузку в несколько сотен %.
Габаритные размеры стандартного РКМА 25х23х(3 .. 8) мм., но есть малогабаритное исполнение РКМА в корпусе 12х11х1, который имеет меньшую чувствительность и чуть большее динамическое сопротивление. Манометрические кварцевые резонаторы имеют несколько исполнений: дополнительная крышка, для температурной развязки; дополнительная крышка со штуцером, делает возможным подачу измеряемого давления через штуцер (до 0,2МПа) или подачу атмосферного давления при измерении избыточных давлений.
Благодаря своим высоким метрологическим характеристикам по сравнению с датчиками давления на полупроводниковых чувствительных элементах и относительно небольшой цене, манометрические кварцевые резонаторы находят применение в высокоточных приборах. На основе кварцевых манометрических резонаторов РКМА-Р и температурных резонаторов РКТ206 и РКТВ206 нашими партнерами выпускаются преобразователи давления с компенсированной температурной погрешностью класса точности 0,1%; 0,06% и 0,03%. Мы так же разрабатываем и выпускаем ряд преобразователей температуры, давления и температуры, планируется выпуск преобразователя влажности и температуры.
Манометрические резонаторы могут найти широкое применение в цифровых приборах измеряющих: давление; скорость; расход; массу; уровень и др.
Нельзя обойти вниманием высокочастотный силочувствительный элемент ЭПКВ-10М, который нашел массовое применение в силочувствительных балках весов. Достоинствами этого элемента является его высокая стабильность, чувствительность 3,5 Гц/г, низкое сопротивление <30 Ом на воздухе, низкая цена.
Потребность в датчиках с частотным выходом постоянно растет, этому способствует постоянно расширяющиеся области их применения, высокие метрологические характеристики, рентабельность их серийного производства. Используя многолетний опыт производства кварцевых резонаторов и датчиков на их основе, предприятие ООО «СКТБ ЭлПА» постоянно совершенствует имеющиеся резонаторы и датчики, а так же разрабатывает новые конструкции.
Авторы: Поляков А.В., Заднепрянный И.Е., Поляков В.Б.
Моделирование условий электрического нагружения пьезокерамического резонатора на основе экспериментальных данных
ММС.
Том 2, номер 2
: стр. 115-127
https://doi.org/10.23939/mmc2015.02.115
Поступила в редакцию: 16 марта 2015 г.
Авторы:
- О. Безверхий
- Л. Зинчук
- В. Карлаш
1
Институт механики им. С. П. Тимошенко НАН Украины
2
Институт механики им. С. П. Тимошенко НАН Украины
3
Институт механики им. С. П. Тимошенко НАН Украины
Статья посвящена анализу задачи об условиях электрического нагружения вынужденных колебаний пьезокерамических резонаторов. Новая простая экспериментальная методика вместе с вычислительной техникой позволяет нам исследовать многие параметры резонаторов: полную проводимость, импеданс, фазовые углы, силовые составляющие и т. д. при постоянном входном напряжении, постоянном напряжении на образце и постоянном токе на образце. есть» режим. Такое компьютерное моделирование позволяет снизить экспериментальные трудности и изучить в линейных приближениях зависимость параметров резонаторов от условий нагружения. В качестве примера приведены основные формы колебаний тонкого пьезоэлектрического стержня и высокой цилиндрической оболочки. Установлено, что значительная нелинейность полной проводимости в режиме постоянного напряжения и ее отсутствие в случае постоянного тока обусловлены различным поведением мгновенного уровня мощности.
пьезокерамические резонаторы
вынужденные колебания
коэффициент электромеханической связи
тонкие пьезоэлектрические пластины и оболочки
компоненты мгновенной мощности
- Учино К. , Хиросе С. Как отдельно измерить потери в пьезоэлектриках. IEEE транс. Ультрасон. Ферроэлектр. Частота Контроль. 48 , № 1, 307–321 (2001).
- Урал О., Тункдемир С., Чжуан Ю., Учино К. Разработка мощной пьезоэлектрической характеристической системы и ее применение для определения характеристик резонансного/антирезонансного режима. Япония. Дж. Заявл. физ. 48 , н.5Р, 056509 (2009).
- Учино К., Чжэн Дж. Х., Чен Ю. Х. и др. Механизмы потерь и пьезоэлектрики большой мощности. Дж. Мат. науч. 41 , 217–228 (2006).
- Джаффе Б., Кук В. Р., Джаффе Х. Пьезоэлектрическая керамика. Академическая пресса, Лондон (1971).
- Шульга Н. А., Болкисев А. М. Колебания пьезоэлектрических тел. наук. Думка, Киев (1990).
- Шульга М. О., Карлаш В. Л. Резонансные электромеханические колебания пьезоэлектрических пластин. наук. Думка, Киев (2008 г.) (на украинском языке).
- Карлаш В. Л. Резонансные электромеханические колебания пьезоэлектрических пластин. Междунар. заявл. мех. 41 , № 7, 709–747 (2005).
- Карлаш В. Л. Потери энергии в пьезокерамических резонаторах и их влияние на характеристики колебаний. Электроника и связь. 19 , №2(79), 82–94 (2014).
- Карлаш В. Л. Методы определения коэффициентов связи и потерь энергии при колебаниях пьезокерамического резонатора. Акустический бюллетень. 15 , №4, 24–38 (2012) (укр.).
- Карлаш В. Л. Моделирование пьезокерамических резонаторов с потерями энергии электрическими эквивалентными сетями с пассивными элементами. Математическое моделирование и вычисления. 1 , № 2, 163–177 (2014).
- Мартин Г.Э. Диэлектрические, упругие и пьезоэлектрические потери в пьезоэлектрических материалах. Ультразвуковой Симп. проц. Милуоки. 613–617 (1974).
- Межерицкий А. В. Упругие, диэлектрические и пьезоэлектрические потери в пьезокерамике; как все это работает вместе IEEE Trans UFFC. 51 , № 6, 695–797 (2004).
- Безверхий О., Зинчук Л., Карлаш В. Влияние электрической нагрузки, постоянного напряжения или тока на характеристики колебаний пьезокерамических резонаторов. Физико-математическое моделирование и информационные технологии. № 18, 9–20 (2013) (укр.).
- Шульга М. О., Карлаш В. Л. Измерение полной проводимости пьезокерамических элементов в четырехполюснике Мейсона и его вариантах. проц. IV Межд. Научно-техн. конф. «Датчики, приборы и системы – 2008». Черкассы–Гурзуф. 54–56 (2008) (на украинском языке).
- Глозман И. А. Пьезокерамика. Энергия, Москва (1972).
- Учино К., Чжуан Ю., Уральский С. О. Методика определения потерь пьезокерамики: новая феноменологическая теория и экспериментальные предложения. Дж. Адв. Диэлектрик. 1 , № 1, 17–31 (2011).
- Лю Г., Чжан С., Цзян В., Цао В. Потери в сегнетоэлектрических материалах. Материаловедение и инженерия. Р 89 , 1–48 (2015).
Матем. Модель. вычисл. Том. 2015. Т. 2. № 2. С. 115–127.0003
Пьезокерамические материалы
Пьезоматериалы на основе титаната цирконата свинца (PZT)
PI Ceramic предлагает широкий выбор пьезоэлектрических керамических материалов на основе модифицированного титаната цирконата свинца (PZT) и титаната бария. Обозначения «мягкой» и «твердой» пьезокерамики относятся к подвижности диполей или доменов и, следовательно, к поведению поляризации и деполяризации. В приводах используется сегнетоэлектрически мягкая пьезокерамика с низкой напряженностью поля обратной полярности. Сегнетоэлектрически твердые материалы PZT в основном используются в мощных акустических приложениях. Кроме того, PI Ceramic предлагает пьезокерамику, не содержащую свинца, которая в настоящее время используется в основном в качестве ультразвуковых преобразователей, а также кристаллический исполнительный материал.
Приводы и преобразователи могут быть изготовлены из специальных материалов для обеспечения специфических характеристик применения, хотя техническое исполнение должно проверяться индивидуально.
Свойства материала классифицируются в соответствии с европейским стандартом EN 50324.
Идеально подходит для пьезоприводов и датчиков
Сегнетоэлектрически мягкие пьезокерамические материалы довольно легко поляризуются даже при относительно низкой напряженности поля. Это связано с характерной для них сравнительно высокой подвижностью доменов. Преимуществами мягких материалов PZT являются их большой коэффициент пьезоэлектрического заряда, умеренная диэлектрическая проницаемость и высокие коэффициенты связи.
Области применения мягкой пьезокерамики
Важными областями применения мягкой пьезокерамики являются: Приводы для микропозиционирования и нанопозиционирования, датчики, такие как обычные датчики вибрации, ультразвуковые передатчики и приемники, например, для измерения расхода или уровня, идентификации или мониторинга объектов, а также а также для электроакустических применений в качестве преобразователей звука и микрофонов, а также в качестве звукоснимателей на музыкальных инструментах.
PIC151 | Стандартный материал для приводов PICA Stack/Thru и Piezo Tubes Series |
---|---|
Материал | Модифицированный циркокон титан |
High permittivity, large coupling factor, high piezoelectric charge coefficient, relatively high Curie temperature | |
Suitable for | Actuators, low-power ultrasonic transducers, low-frequency sound transducers |
Classification in accordance with ЕН 50324-1 | 600 |
MIL-Standard DOD-STD-1376A | II |
PIC255 | Standard material for PICA Power, DuraAct, PICA Shear, and Piezo Tubes series | |
---|---|---|
. 0140 | Очень высокая температура CURIE, умеренная диэлектрическая проницаемость, высокая коэффициент связи, высокий коэффициент заряда, низкий коэффициент качества механического качества, низкий коэффициент температуры, относительно высокая прочность на полярность (> 1 кВ/мм) | |
, подходящие для | ||
, подходящие для | . Приходится для | |
. Актуаторы для динамических условий эксплуатации и высоких температур окружающей среды, маломощные ультразвуковые преобразователи, нерезонансные широкополосные системы, датчики силы и акустические датчики | ||
Classification in accordance with EN 50324-1 | 200 | |
MIL-Standard DOD-STD-1376A | II |
PIC155 | |
---|---|
Материал | Модифицированный цирконат титанат |
Характеристики | Очень высокая температура CURIE, умеренная диэлектрическая проницаемость, низкий коэффициент качества с низким механическим качеством, низкий температурный коэффициент, высокая чувствительность (коэффициенты G) |
, подходящие для | . для микрофонов и вибродатчиков с предусилителем, измерение вибрации на низких частотах |
Classification in accordance with EN 50324-1 | 200 |
MIL-Standard DOD-STD-1376A | II |
PIC153 | Material for специальные приводы серии PICA Stack/Thru и для клеевых приводов |
---|---|
Материал | Модифицированный цирконат титанат свинца |
Characteristics | Extremely high permittivity and coupling factors, high charge coefficient, Curie temperature around 185 °C |
Suitable for | Hydrophones, transducers in medical diagnostics and PZT translators |
Classification in в соответствии с EN 50324-1 | 600 |
MIL-Standard DOD-STD-1376A | VI |
PIC152 | |
---|---|
Material | Modified lead zirconate titanate |
Characteristics | Диэлектрическая проницаемость с чрезвычайно низким температурным коэффициентом |
Suitable for | Force and acceleration transducers |
Classification in accordance with EN 50324-1 | 200 |
MIL-Standard DOD-STD-1376A | II |
Высокоэффективный материал для ультразвуковых преобразователей
Сегнетоэлектрически твердые материалы PZT могут подвергаться высоким электрическим и механическим нагрузкам. Их свойства практически не изменяются в этих условиях.
Преимуществами этих материалов являются умеренная диэлектрическая проницаемость, большие коэффициенты пьезоэлектрической связи, высокие механические свойства и очень хорошая стабильность при высоких механических нагрузках и напряженности рабочего поля. Низкие диэлектрические потери облегчают их длительное использование в резонансном режиме при незначительном собственном нагреве компонента.
Применение
Применение твердых пьезоматериалов особенно выгодно для акустических приложений большой мощности. Примеры областей их применения включают ультразвуковую очистку (обычно в диапазоне частот кГц), механическую обработку материалов (ультразвуковая сварка, склеивание, сверление и т. д.), ультразвуковые процессоры (например, для диспергирования жидких сред), медицинский сектор (ультразвуковые удаление зубного камня, хирургические инструменты и т. д.) и сонарные технологии.
PIC181 | ||
---|---|---|
Material | Modified lead zirconate titanate | |
Characteristics | Extremely high mechanical quality factor, good temperature, and time stability of its диэлектрическая проницаемость и упругость | |
Подходит для | Высокие акустические применения, резонансные ультразвуковые приложения | |
Классификация | . 1376a | I |
PIC184 | ||
---|---|---|
9019 | 77777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777777 | |
3 Material | Modified lead zirconate titanate | |
Characteristics | Large electromechanical coupling factor, moderately high quality factor, excellent mechanical and electrical stability | |
Suitable for | High-power ultrasound applications, hydroacoustics , сонарная технология | |
Classification in accordance with EN 50324-1 | 100 | |
MIL-Standard DOD-STD-1376A | I |
PIC144 | ||
---|---|---|
Материал | Модифицированный свинцовый цирконат титанат | |
Характеристики | Большой электромеханический коэффициент связи, высокий коэффициент качества, отличная механическая и электрическая стабильность, высокая устойчивость к сжатию | |
Подходит для | High-Power Ultrasound Applications, HydroAcoustics, | 137. 50324-1100 |
MIL-Standard DOD-STD-1376A | I |
PIC241 | |
---|---|
Material | Modified lead zirconate titanate |
Characteristics | Высокий механический коэффициент качества, более высокая диэлектрическая проницаемость, чем PIC181 |
Suitable for | High-power acoustic applications, piezomotor drives |
Classification in accordance with EN 50324-1 | 100 |
MIL-Standard DOD-STD-1376A | I |
PIC300 | |
---|---|
Материал | Модифицированный цирконат цирконат |
Use at temperatures up to 250 °C (briefly up to 300 °C) | |
Classification in accordance with EN 50324-1 | 100 |
MIL-Standard DOD-STD-1376A | I |
PI Ceramic предлагает бессвинцовую пьезокерамику лабораторного производства. Материалы основаны на титанате висмута-натрия (BNT) и обладают очень схожими свойствами с материалами из титаната бария. Материалы подходят для ультразвуковых преобразователей в диапазоне МГц, а также для гидролокаторов и гидрофонов.
Титанаты бария и свинца в основном используются в гидроакустической технике и в некоторых терапевтических, ультразвуковых медицинских применениях из-за их температуры Кюри до 150°C. Будучи одним из первых пьезокерамических материалов, которые можно было производить в промышленных масштабах, модифицированный титанат бария-свинца сегодня используется только для ухода за старыми продуктами. PI Ceramic производит модифицированные титанаты бария и свинца по запросу.
Технический паспорт
Английский Немецкий
Скачать
Скачать
Термическая деформация по-разному ведет себя в направлении поляризации и перпендикулярно ей.
Неполяризованные пьезокерамические элементы изотропны. Коэффициент расширения является приблизительно линейным при температурном коэффициенте приблизительно 2 × 10 -6 / K.
Предпочтительная ориентация доменов в поляризованном корпусе PZT приводит к анизотропии, которая является причиной различных характеристик теплового расширения. .
В приложении необходимо учитывать влияние последовательных изменений температуры. Большие изменения кривой могут происходить, в частности, в первом температурном цикле.
В зависимости от материала кривые могут сильно отличаться от представленных на рисунке.