Экспонирование фоторезиста уф светодиодами: УФ излучатель для экспонирования фоторезиста. Вариант 2. — RC74 — интернет-магазин радиоуправляемых моделей

Содержание

Установка УФ экспонирования на светодиодах Idonus

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Установка экспонирования фоторезиста на основе УФ светодиодной матрицы Текст научной статьи по специальности «Электротехника, электронная техника, информационные технологии»

Министерство образования и науки РФ

Правительство Пензенской области Академия информатизации образования Академия проблем качества РФ Российская академия космонавтики им. К.Э.Циолковского Российская инженерная академия Вычислительный центр РАН им. А.А.Дородницына Институт испытаний и сертификации ВВТ ОАО «Радиотехнический институт имени академика А.Л.Минца» ОАО «УПКБ ДЕТАЛЬ», ОАО «РУБИН» ОАО «НИИФИ», ОАО «ПНИЭИ», ФГУП ФНПЦ «ПО СТАРТ», НИКИРЭТ, ЗАО «НИИФИиВТ» ОАО «ППО ЭЛЕКТРОПРИБОР», ОАО «РАДИОЗАВОД» Пензенский филиал ФГУП НТЦ «АТЛАС» ОАО «ТЕХПРОММАШ», МИЭМ НИУ ВШЭ, Евразийский Национальный университет им. Л.Н. Гумилева Сургутский институт мировой экономики и бизнеса «ПЛАНЕТА» Пензенский государственный университет

АадижУ{%шсж

ТРУДЫ

МЕЖДУНАРОДНОГО СИМПОЗИУМА

НАДЕЖНОСТЬ И КАЧЕСТВО

II то^

ПЕНЗА 2015

УДК 621. 396.6:621.315.616.97:658:562 Т78

Труды Международного симпозиума «НАДЕЖНОСТЬ И КАЧЕСТВО»:

T78 в 2 т. — Пенза : ПГУ, 2015. — 2 том — 384 с.

ISBN 978-94170-818-5(т.1) ISBN 978-94170-818-8

В сборник трудов включены доклады юбилейного ХХ-го Международного симпозиума «Надежность и качество», проходившего с 25 по 31 мая 2015 г. в городе Пензе.

Рассмотрены актуальные проблемы теории и практики повышения надежности и качества; эффективности внедрения инновационных и информационных технологий в фундаментальных научных и прикладных исследованиях, образовательных и коммуникативных системах и средах, экономике и юриспруденции; методов и средств анализа и прогнозирования показателей надежности и качества приборов, устройств и систем, а также анализа непараметрических моделей и оценки остаточного ресурса изделий двойного назначения; ресурсосбережения; проектирования интеллектуальных экспертных и диагностических систем; систем управления и связи; интерактивных, телекоммуникационных сетей и сервисных систем; экологического мониторинга и контроля состояния окружающей среды и биологических объектов; исследования физико-технологических процессов в науке, технике и технологиях для повышения качества выпускаемых изделий радиопромышленности, приборостроения, аэрокосмического и топливно-энергетического комплексов, электроники и вычислительной техники и др.

Оргкомитет благодарит за поддержку в организации и проведении Международного симпозиума и издании настоящих трудов Министерство образования и науки РФ, Правительство Пензенской области, Академию проблем качества РФ, Российскую академию космонавтики им. К. Э. Циолковского, Российскую инженерную академию, Академию информатизации образования, Вычислительный центр РАН им. А. А. Дородницына, Институт испытаний и сертификации ВВТ, ОАО «Радиотехнический институт имени академика А.Л. Минца», ОАО «УПКБ ДЕТАЛЬ», ОАО «НИИФИ», ФГУП «ПНИЭИ», ОАО «РУБИН», ОАО «РАДИОЗАВОД», ОАО «ППО ЭЛЕКТРИПРИБОР», ФГУП «ПО «СТАРТ», НИКИРЭТ — филиал ФГУП «ПО «СТАРТ», Пензенский филиал ФГУП НТЦ «АТЛАС», ОАО «ТЕХПРОММАШ», МИЭМ НИУ ВШЭ, Евразийский Национальный университет им. Л.Н. Гумилева, Сургутский институт мировой экономики и бизнеса «ПЛАНЕТА»,Пензенский государственный университет.

Сборник статей зарегистрирован в Российском индексе научного цитирования (РИНЦ) с 2005 г.

Р е д а к ц и о н н а я к о л л е г и я :

Юрков Н. К. — главный редактор Трусов В. А. — ответственный секретарь Баннов В. Я. — ученый секретарь Волчихин В. И., Абрамов О. В., Авакян А. А., Дивеев А.И., Иофин А. А., Каштанов В. А., Майстер В. А., Острейковский В.А., Петров Б. М., Писарев В. Н., Роберт И. В., Романенко Ю. А., Северцев Н. А., Садыков С. С., Садыхов Г. С., Увайсов С. У.

ISBN 978-94170-818-5(т.1) ISBN 978-94170-818-8

ЛИТЕРАТУРА

1. Мельберт А.А. Повышение экологической безопасности поршневых двигателей. — Новосибирск: Наука, 2003. — 170 с.

2. Кочегаров И.И. Алгоритм выявления латентных технологических дефектов печатных плат методом оптического контроля / Кочегаров И.И., Ханин И.В., Лысенко А.В., Юрков Н.К., Алмаметов В.Б. // Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Технические науки. 2013. № 3 (27). С. 105.

3. Мельберт А.А. Перспективы применения СВС-каталитических фильтров для очистки отработавших газов автомобилей / А.А. Мельберт, А.Л. Новоселов // Вестник АлтГТУ им. И.И. Ползунова. — №2. -1999. — С. 157-158.

4. К ВОПРОСУ РЕАЛИЗАЦИИ МЕТОДА АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ВЫБОРА СИСТЕМЫ ОХЛАЖДЕНИЯ / Горячев Н.В., Кочегаров И.И., Юрков Н.К. // Алгоритмы, методы и системы обработки данных. 2013. № 3 (25). С. 16-20.

5. Мельберт А.А. Эффективность СВС-каталитических блоков в нейтрализаторах для дизелей / А.А. Мельберт, А.А. Новоселов // Вестник АлтГТУ им. ИИ. Ползунова. — №2. — 1999. -С.156.

6. Северцев, Н.А. К вопросу об утрате работоспособности систем / Н.А. Северцев, А.В. Бецков, А.М. Самокутяев // Труды международного симпозиума Надежность и качество. 2013. Т. 2. С. 268-270.

7. Критерии и показатели безопасности / Дедков В.К., Северцев Н.А., Петухов Г.Б., Тихон Н.К. // Вопросы теории безопасности и устойчивости систем. 1999. № 1. С. 33-54.

8. Северцев, Н.А. Минимизация обобщенного риска угроз безопасности / Н.А. Северцев // Вопросы теории безопасности и устойчивости систем. 2005. № 7. С. 3-10.

9. Универсальные оценки безопасности. Монография / Дивеев А.И., Северцев Н.А. // Москва, 2005.

УДК 378.147

Володин1 П. Н., Бекниязов2 Н.А., Танатов2 М.К.

гФГБОУ ВПО «Пензенский государственный университет», Пенза, Россия

2Военный институт Сил воздушной обороны Республики Казахстан им. Т.Я. Бегельдинова, Актобе, Казахстан

УСТАНОВКА ЭКСПОНИРОВАНИЯ ФОТОРЕЗИСТА НА ОСНОВЕ УФ СВЕТОДИОДНОЙ МАТРИЦЫ

В настоящее время разработка и производство любых электронных устройств невозможна без использования печатных плат (ПП). Надежность и качество будущих устройств зависит не только от свойств электрорадиоэлеменентов и качественной сборки всего устройства, но и от самой ПП. Недаром специалисты в области компьютерной техники называют основную плату любого компьютера Motherboard, т.е. материнской платой.

Степень интеграции электрорадиоэлеменентов на ПП, количество ее слоев, минимальное расстояние между проводниками, их ширина — все это зависит от технологии с помощью которой была изготовлена ПП [1]. Наиболее широкое применение получила технология получения ПП с использованием фоторезиста. Для переноса рисунка на фоторезист применяют фотошаблоны на пленочной основе (фотопленки), а при особых требованиях к точности — стеклянные фотошаблоны. Качество изготовления рисунка печатных плат зависит от качества фоторезиста и фотошаблонов, а также от точности воспроизведения всех режимов экспонирования. Существующие установки экспонирования фоторезиста (рис. 1) очень дороги [2], поэтому их применение в учебных лабораториях осложнено. Разработанная нами установка отличается от аналогов низкой стоимостью.

В качестве источников света использованы па-рортутные лампы, которые работают в ультрафиолетовой области (300-450 нм). Благодаря вакуумному насосу создается равномерный контакт между фотошаблоном и платой. Установка оборудована мощными охлаждающими вентиляторами. Когда процесс экспонирования закончен, подача вакуума прекращается (1). На рисунке 1 (внизу) показано устройство экспонирования фоторезиста на УФ лампах, разработанное на кафедре «КиПРА» ФГБОУ ВПО «ПГУ».

В этом устройстве использованы две энергосберегающие УФ лампы ЕЬи10 Т8 1811 913 (длинна волны 350 — 380 нм) , что позволило обеспечить экономный режим работы устройства, но наложило ограничения на габаритные размеры.

Применение УФ светодиодной матрицы вместо УФ ламп позволит снять ограничения в габаритных размерах, при сохранении экономного режима работы устройства. Кроме того, срок жизни ламп мал, засветка по всей длине лампы не одинаковая. Для проявления экспонированные подложки подвергают воздействию специальных проявляющих растворов в течение приблизительно двухминутного погружения или опрыскивания. Проявители растворяют засвеченные или не засвеченные слои в зависимости от типа фоторезиста (негативный или

позитивный). Подготовленная заранее плата, с ламинированным на ней фоторезистом помещается в установку экспонирования (рис. 2). Затем кнопками на передней панели установки устанавливается время экспонирования и интенсивность работы компрессора.

Управление выполняется пятью кнопками, из них три — это изменение/установка времени засветки, остальные — включение компрессора и запуск таймера. При запуске таймера включаются и компрессор и подсветка, но компрессор можно принудительно включить в режиме ожидания чтобы подготовить плату с шаблоном к засветке. Для выведена отдельная кнопка «воздух» для управления компрессором. В режиме ожидания кнопками плюс/минус выбираются сохраненные установки.

Запуск таймера происходит по нажатию кнопки «пуск». При этом включается компрессор и засветка, на индикаторе происходит обратный отчет и мигает децимальная точка между минутами и секундами. После окончания экспонирования фоторезиста, засветка и компрессор выключаются, на экране загорается надпись «OFF» и звучит прерывистый сигнал высокочастотного динамика до тех пор, пока повторно не нажмется кнопка «пуск», после чего таймер опять переходит в режим ожидания, показывая значение выбранной выдержки.

К преимуществам схемы можно отнести хорошую надежность, малое количество комплектующих деталей, ремонтопригодность и простоту управления таймером. Из недостатков работы таймера следует отметить погрешность в 1,5-2 секунды при выдержке в 10 минут, но существенно влиять на процесс экспонирования это не будет.

Конструкция основана на модульной структуре, модули соединяются между собой при помощи плоских шлейфов. Замена отдельного модуля не вызывает затруднений, это позволяет использовать составные его части в других устройствах, быстро изменить назначение и функционал исходного устройства, способствует улучшению ремонтопригодности в результате чего повышается надёжность устройства в целом.

Центральным модулем является плата, содержащая микроконтроллер ATmega8L, с заложенным в него функционалом в виде специального файла прошивки. Микроконтроллер осуществляет управление аналоговой схемой розжига ламп и компрессора, считывает состояния кнопок, выводит информацию на светодиодный цифровой индикатор KEM-32 61AR. По краям платы расположены выводы для подключения шлейфов.

Контроллер индикатора

Кнопочный орган управления

Схема питания УФ диодной матрицы

УФ диодная матрица

Источник дторичного питания

Рисунок 2 — Структурная схема установки экспонирования

лл

■л

л л

V’

№

лл

-р-1- ,гг. —Г-Г’Т ■» —1—1

в ч я иг ю А? к т ¡и я? ч& № иг ни ьв да 1я да да да т лч

Рисунок 3 — Плата печатная УФ светодиодной матрицы

Питание УФ светодиодов будет линейным, матрица светодиодов разбита будет на 156 линеек, каждая линейка состоит из 3х светодиодов с то-коограничительным резистором, общие питание матрицы 12В (рис. 3). Блок питания использоваться будет на 35Вт, модель РБ35-12.

Для экспонирования фоторезиста не обходимо воздействовать на него ультрафиолетовым излуче-

нием с длинной волны 330-470нм. В продаже для этих целей имеются специальные ультрафиолетовые диоды 2000 mcd

Разработанная установка будет полезна как для проведения экспонирования фоторезиста, так и для экспонирования паяльной маски, отличается от аналогов малым энергопотреблением и габаритами.

ЛИТЕРАТУРА

1. Затылкин, А. В. Исследование влияния деформационной составляющей внешнего вибрационного воздействия на надёжность радиоэлектронных средств / А. В. Затылкин, Д. А. Голушко, Д. А. Рындин // Труды международного симпозиума Надежность и качество. 2013. Т. 2. С. 42-43.

2. Затылкин, А. В Алгоритмическое и программное обеспечение расчета параметров статически неопределимых систем амортизации РЭС / А. В. Затылкин, Г. В. Таньков, И. И. Кочегаров // Надежность и качество сложных систем. 2013. № 4. С. 33-40.

3. Структурное обнаружение и различение вырывов проводящего рисунка печатных плат / А. В. Григорьев, Н. К. Юрков, А. В. Затылкин, Е. А. Данилова, А. Л. Држевецкий // Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Технические науки. 2013. № 4 (28). С. 97-108.

4. Затылкин, А.В. Система управления проектными исследованиями радиотехнических устройств / А.

B. Затылкин / автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Вычислительный центр им. А.А. Дородницына Российской академии наук. Москва, 2012.

5. Затылкин, А. В. Управление исследованиями моделей радиотехнических устройств на этапе проектирования / А. В. Затылкин, А. Г. Леонов, Н. К. Юрков // Прикаспийский журнал: управление и высокие технологии. 2012. № 1. С. 138-142.

6. Трусов В.А. Проектирование одновибратора без перезапуска на программируемой логической интегральной схеме / Трусов В.А., Кочегаров И.И., Горячев Н.В. // Молодой ученый. 2015. № 4 (84).

C. 276-278.

8. Затылкин, А. В Модели и методики управления интеллектуальными компьютерными обучающими системами / А. В. Затылкин // автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Пензенский государственный университет. Пенза, 2009.

9. Затылкин, А. В. Опыт применения технологии ERM в разработке интеллектуальных средств обучения / А. В. Затылкин, В. П. Буц, Н. К. Юрков Известия Южного федерального университета. Технические науки. 2011. № 5 (118). С. 218-223.

10. Затылкин, А. В. Модели и методики управления интеллектуальными компьютерными обучающими системами / А. В. Затылкин // диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук / Пензенский государственный университет. Пенза, 2009.

11. Кочегаров И.И. Компьютерный комплекс исследования основных функций микроконтроллеров / Кочегаров И.И., Трусов В.А. // Труды международного симпозиума Надежность и качество. 2006. Т. 1. С. 192-194.

12. Затылкин, А. В. Система управления проектными исследованиями радиотехнических устройств / А. В. Затылкин // диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук / Вычислительный центр им. А.А. Дородницына Российской академии наук. Москва, 2012.

13. Затылкин, А. В. Методика исследования радиоэлектронных средств опытно-теоретическим методом на ранних этапах проектирования / А. В. Затылкин, Д. А. Голушко, А. В. Лысенко // Вестник Самарского государственного аэрокосмического университета им. академика С.П. Королёва (национального исследовательского университета). 2012. № 7 (38). С. 91-96.

14. Володин, П. Н. Установка для экспонирования фоторезиста на печатных платах в условиях учебной лаборатории / П. Н. Володин, А. В. Затылкин // Современные наукоемкие технологии. 2014. № 5-1. С. 34-35.

15. Затылкин, А. В. Дискретная модель процесса распространения импульса смещения в упругом стержне постоянного сечения при торцевом ударе / А. В. Затылкин, Г. В. Таньков, Д. В. Ольхов // Вестник Пензенского государственного университета. 2013. № 4. С. 79-85.

16. Северцев, Н.А. К вопросу об утрате работоспособности систем / Н.А. Северцев, А.В. Бецков, А.М. Самокутяев // Труды международного симпозиума Надежность и качество. 2013. Т. 2. С. 268-270.

17. Универсальные оценки безопасности. Монография / Дивеев А.И., Северцев Н.А. // Москва, 2005.

18. Северцев, Н.А. Минимизация обобщенного риска угроз безопасности / Н.А. Северцев // Вопросы теории безопасности и устойчивости систем. 2005. № 7. С. 3-10.

19. Критерии и показатели безопасности / Дедков В.К., Северцев Н.А., Петухов Г.Б., Тихон Н. К. // Вопросы теории безопасности и устойчивости систем. 1999. № 1. С. 33-54.

УДК 681.7.068

Кашаганова Г.Б., Касимов А.О.

Казахский национальный технический университет имени К.И. Сатпаева, Алматы, Казахстан ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВОЛОКОННЫХ БРЭГГОВСКИХ РЕШЕТОК

Волоконные брэгговские решетки (ВБР) имеют большие перспективы использования в телекоммуникационных системах. Применение ВБР определяется их уникальными спектральными свойствами, полностью волоконным исполнением, малыми вносимыми потерями. Разработанные к настоящему времени технологии создания ВБР позволяют использовать их в промышленности и технике. Прежде всего ВБР используются в качестве спектрально-селективных элементов в системах волоконно-оптической связи [1], в различных типах волоконных лазеров и усилителей [2], а также в системах измерения физических величин [3].

Приведем краткий обзор областей их применения:

1 ВБР являются необходимым компонентом для построения волоконно- оптических систем связи со спектральным разделением каналов (DWDM):

близкое расположение оптических каналов в DWDM системах (Д 0.8 нм, при ДГ = 100 ГГц) требует уменьшения ширины линии излучения лазерных источников. Этого добиваются, используя лазеры с распределенными Брэгговскими отражателями или лазеры с распределенной обратной связью. В последнем случае ВБР используется в качестве фильтра в петле обратной связи, что позволяет получить ширину линии излучения ~ 0.1 нм;

ВБР используются в качестве устройств разделения и объединения оптических каналов;

Установка для экспонирования фоторезиста на УФ светодиодах — Приспособления для пайки и конструирования плат — Инструменты

Решил продолжить тему создания установки для экспонирования фоторезиста но уже вместо ламп применить УФ светодиоды, причина: срок жизни ламп мал, засветка по всей длине лампы не одинаковая, для светодиодов не нужен разогрев, время экспонирования меньше с светодиодами чем с лампами по крайней мере с моими.

Для это задачи задумался какой мощности светового потока нужны светодиоды, не долго думая сошелся на 2000mcd цена устроила, купил их на ebay 500 штук 20$ c доставкой в Москву.

Прислали в таком антистатическом пакетике.

Решил использовать площадь матрицы светодиодов = 180х260мм.

Светодиоды расположены на расстоянии друг от друга 1см. общие количество 450штук.

Питание светодиодов будет линейным, матрица светодиодов разбита будет на 156 линеек, каждая линейка состоит из 3х светодиодов с токоограничительным резистором, общие питание матрицы 12Вольт, блок питания использоваться будет на 35W, модель PS35-12 от компании MEAN WELL.

Изготовил платы

Припоял резисторы

Изготовил держатель плат из дюралюминия с отверстиями под светодиоды 5,2мм.

Вставляю светодиоды в платы, муторное дело

Кусаю ноги, припаиваю и проверяю

Светят ярко, в бок, как на фото синие свечение, а вверх, угол(20 ~ 25°)ультрафиолетовое излучение (390—395 нм)

Управлять матрицей светодиодов буду, как обычно таймером, его пришлось создать.

Схема таймера

Изготовление лицевой панели, стеклотекстолит 1,5мм.

Этикетка панели

Плата энкодера

Всё в сборе

Светодиодная УФ-лампа для изготовления печатных плат

Решил соорудить себе светодиодныю лампу для экспонирования фоторезиста и паяльной маски. Для чего на алиэкспрессе были закуплены в количестве 500 штук 5мм-светодиоды на 2000 милликандел с длиной волны около 400нм (если верить продавцу). Питать их решил от блока питания с напряжением 12В (ток — до 6А, куплен на ебее где известен как Power Supply Adapter For Led Light Strip). Т.к. на одном светодиоде падает напряжение около 3.5В, то соединять их надо в цепочки по 3 штуки и для тока через светодиод около 20мА сопротивление токоограничивающего резистора будет 68 Ом.

Светодиодную матрицу решил делать размерами 18 х 26 светодиодов с шагом между ними в 1 см. Матрица собрана на двух одиноковых печатных платах (18 х 13 светодиодов в каждой).

Корпус для лампы фабричный, алюминиевый. Был куплен в «Ашане» занедорого, там он более известен под кодовым названием «противень для выпекания пирогов» :).

Для разводки печатных плат матрицы решил наконец попробовать бесплатный EasyEDA CAD, т.к. free-версия Eagle CAD с платами таких размеров работать не желает. Кстати, EasyEDA оказался достаточно простым в освоении и произвел вцелом положительное впечатление — все очень просто и интуитивно понятно, инструмент достаточно мощный и удобный (и при этом совершенно бесплатный — спасибо разработчикам).

Готовые светодиодные панели (с пайкой такого количества светодиодов пришлось изрядно повозиться):

Для управления матрицей сделал простенький таймер на ATMega8 и семисегментном индикаторе с управлением 4х-кнопочным джойстиком. Печатную плату разводить не стал, спаял всё на макетке МГТФ-ом.

Схема таймера:

Плата таймера:

Кнопки «вверх»-«вниз» задают время экспонирования в минутах, кнопка «вправо» запускает таймер и включает лампу, «влево» — соответственно, выключает. Последнее введенное время запоминается в энергонезависимой памяти МК. Светодиод светится если лампа включена (и мигает, если идет последняя минута экспонирования).

Корпус с установленным таймером:

Осталось установить платы светодиодов. Они крепятся винтами к лицевой панели. Удобство алюминиевого корпуса в том, что после привинчивания винтов можно немного изменить их наклон, если отверстия в корпусе не совсем совпадут с отверстиями в платах. Результат:

Агрегат готов:

Поскольку ранее у меня не было опыта работы с фоторезистом, паяльной маской и другими УФ-лампами, не могу ничего сказать о мощности получившегося устройства в сравнении с другими лампами. Но первые эксперименты показали, что для затвердевания паяльной маски достаточно 10 минутной засветки.

Ссылки и файлы:

Проект светодиодной лампы EasyEDA.
Проект таймера на github-е
Рисунок печатной платы светодиодов для ЛУТа (pdf)
Скачать прошивку

признаки полного развития фоторезиста печатной платы

В настоящее время. Я делаю печатную плату с использованием фотолитографического метода (печать на прозрачности, экспонирование с помощью УФ-излучения, которое работает, затем разработка под ярко-красным светодиодом в качестве единственного источника света), но половину времени стадия разработки не идеальна. Я узнаю об этом, когда травление на доске завершено примерно на 5%. Затем я заново разработал доску. Это даже после того, как я отшлифовал слой фоторезиста с небольшого угла доски (до экспонирования), чтобы дать мне представление о том, каким должен быть фон после удаления нежелательного фоторезиста.

Я использую 1 часть стандартного проявителя гидроксида натрия примерно на 10 частей воды, а жидкость зеленоватая, поскольку я использую одну и ту же смесь для нескольких плат, и на ее разработку (примерно) уходит две минуты, но я не могу использовать время как фактор завершения разработки.

Вместо того, чтобы заново разрабатывать доску, чтобы сделать ее идеальной, какие еще знаки я должен искать на доске, чтобы указать на завершение удаления фоторезиста? и было бы полезно, если бы я использовал источник света другого цвета, чтобы знаки, которые мне нужны, были более заметными?

Я хочу избегать цветов, которые могли бы заставить фоторезист реагировать (например, светлый цвет экспозиции фиолетовый).

JMS

Это полностью зависит от того, какой конкретный фоторезист (негатив, позитив, химия, марка) вы используете, но я обнаружил, что доска полностью развивается, как только фоторезист перестает растворяться. Я, однако, подозреваю, что ваша проблема на самом деле не вызвана самим этапом разработки, с предыдущим воздействием, являющимся настоящим виновником.

Шаг выставления часто является самой трудной частью для правильного определения, поскольку освещение должно быть равномерным, выравнивание доски должно быть точным, а время должно быть правильным. Вы можете попытаться покрыть PCB + маску куском непрозрачного материала (например, алюминиевой фольгой) во время воздействия; обнаружение новой области, например, с шагом 20 с путем перемещения фольги позволит вам протестировать несколько раз одновременно.

Установка экспонирования печатных плат

Следующим этапом фотолитографического процесса является экспонирование. При экспонировании в слое ламинированного на печатных плат фоторезиста образуется скрытое изображение. При этом светочувствительный компонент претерпевает ряд фотохимических превращений. В зависимости от типа применяемого фоторезиста светочувствительный состав закрепляется (сшивается) на экспонированных участках и не удаляется при дальнейшем проявлении под действием органических или водно-щелочных растворителей (негативные фоторезисты) либо наоборот переходит в растворимое состояние и легко удаляется с экспонированных участков при проявлении (позитивные фоторезисты). В качестве примера установки двухстороннего оптического экспонирования можно привести установку ф. КОЛАЙТ DMVL 1630. Рис. 37.

Система экспонирования состоит из двух УФ ламп со ступенчатой регулировкой мощности. Лампы производятся фирмой COLIGHT, что гарантирует их высокую надёжность и большой срок службы. Лампы расположены вместе со специальными отражателями сверху и снизу камеры экспонирования и обеспечивают высокую равномерность излучения по всей площади рамы. Для достижения высокой производительности на установке используются две выдвижные рамы. Во время экспонирования в одной раме, новая заготовка устанавливается во вторую раму экспонирования.

Вакуумная система надёжно фиксирует заготовку в раме. Простая и надёжная система транспортировки обеспечивает плавное перемещение рам в зону экспонирования. Традиционно при экспонировании использовался контактный метод, засветка производилась интегрально через фотошаблон (ФШ). В настоящее время для экспонирования используются малоусадочные пленочные ФШ. При двухсторонней засветке слоев и при засветке рисунка наружных слоев необходимо проводить процедуру совмещения ФШ-ов между собой или ФШ и внутренних слоев спрессованной многослойных печатных плат.

Выполняется она с помощью «кнопок» и базовых отверстий или устройств распознавания образов. Основным (но не единственным) недостатком оптического экспонирования является необходимость содержания комплекта оборудования для изготовления фотошаблонов (фотоплоттер и проявка) и инфраструктуру кондиционного хранения и периодической аттестации ФШ, существенно увеличивающие производственные издержки.

Последнее время для экспонирования, особенно в многономенклатурном производстве используется прямое экспонирование. Учитывая перспективность этого технологического метода его особенности будут рассмотрены далее в отдельном подразделе.

Традиционно при экспонировании использовался контактный метод, засветка производилась интегрально через фотошаблон (ФШ). В настоящее время для экспонирования используются малоусадочные пленочные ФШ. При двухсторонней засветке слоев и при засветке рисунка наружных слоев необходимо проводить процедуру совмещения ФШ-ов между собой или ФШ и внутренних слоев спрессованной многослойных печатных плат. Выполняется она с помощью «кнопок» и базовых отверстий или устройств распознавания образов. Основным (но не единственным) недостатком оптического экспонирования является необходимость содержания комплекта оборудования для изготовления фотошаблонов (фотоплоттер и проявка) и инфраструктуру кондиционного хранения и периодической аттестации ФШ, существенно увеличивающие производственные издержки.

9.1.Прямое экспонирование сухого пленочного фоторезиста

Прямое экспонирование (ПЭ) – это экспонирование ФР по программе, сфокусированным лучем лазерного или светодиодного источника (замена материального ФШ на виртуальный). При использовании прямого экспонирования в техпроцессе изготовления печатных плат необходимо выполнить несколько дополнительных операций свойственных традиционному процессу изготовления печатных плат – его фотолитографическому этапу.

Необходимо предварительно нанести сплошной слой светочувствительного материала (СПФ или паяльной маски ). И после экспонирования выполнить технологические операции проявления, а затем травления или задубливания.

Как технологическая операция ПЭ появилось в прошлом десятилетии, но на первоначальном этапе не получило широкого распространения, т.к. требовало использования специальных дорогостоящих в то время ФР.

Совершенствование оборудования ПЭ шло в 2-х направлениях:

— создание источников излучения способных экспонировать стандартные фоторезисты;

— отработка конструктивных схем установок в части использования более удобных в эксплуатации и обслуживании источников излучения (переход от твердотельных лазерных источников экспонирования на светодиодные).

Как только эти цели были достигнуты, произошел резкий всплеск распространения этого вида оборудования.На рис. 38 показана разница в требуемом количестве операций для ПЭ и традиционного оптического экспонирования.

Слева представлен процесс традиционного оптического экспонирования, состоящий из большого числа операций: изготовление фотошаблона (отрисовка и проявление), хранение фотошаблонов, их контроль время от времени (контроль требуется, если превышен нормативный срок хранения) и экспонирования фоторезиста.

Справа процесс прямого экспонирования, для которого требуются только программы, по которым происходит экспонирование.

Т.о. техника прямого экспонирования позволяет избавиться от набора оборудования и технологических операций изготовления материальных фотошаблонов в производстве печатных плат. Хорошо зарекомендовала себя на рынке оборудования , представленная на рис.39 установка прямого экспонирования Ledia ф. SCREEN.

Она заменяет несколько этапов технологии изготовления печатных плат от процесса изготовления фотошаблонов, до экспонирования. Благодаря использованию СД с разными длинами волн с возможностью регулирования интенсивности свечения каждого СД на установке можно подобрать оптимальные режимы экспонирования различных марок СПФ и паяльных масок. Это высокопроизводительная и технически совершенная установка ПЭ , особенно в части экспонирования ПМ. У нее высокая прецизионность и точность позиционирования, большое рабочее поле (до 610х661мм).

Использование этой установки позволяет снизить инвестиционную и эксплуатационную нагрузку на производство, особенно для многономенклатурного производства. Нет необходимости приобретать и содержать оборудование для изготовления, хранения и аттестации большого количества ФШ.

Для лабораторных условий производства хорошо подойдет представленная на рис.40 установка ПЭ UV-P50 ф. Limata. Особенностью установки является работа с относительно маленькими заготовками (18′х12′) и относительно невысокая производительность. Это единственная в своем роде бюджетная система для производства прототипов и малых серий в условиях, когда не требуется высокая производительность.

Подробные характеристики обеих установок можно посмотреть на нашем сайте — Установка прямого экспонирования UV-P50 ф. Limata

При этом на всех установках прямого экспонирования можно использовать также и специальные фоторезисты, тем более, что сегодня их цена не сильно отличается от цены стандартных фоторезистов, используемых для оптического экспонирования. В любом случае производительность установок прямого экспонирования при работе со специальными фоторезистами будет больше чем при работе с стандартными фоторезистами, применяемыми при традиционном оптическом экспонировании. Справедливости ради надо упомянуть, что некоторые производители печатных плат выбирают именно этот вариант, компенсируя увеличение издержек на приобретение несколько более дорогого специального фоторезиста, уменьшением трудоемкости на операции прямого экспонирования.

В любом случае при экспонировании рисунка СПФ (травильного фоторезиста) прямое экспонирование за счет фокусировки луча светодиодного источника позволяет с легкостью получать прецизионный рисунок проводников соответствующий 5-6-7 классу точности по ГОСТ 53429 — 2009.

Технология УФ светодиодов в комбинации с полосой длин волн позволяет получить высокую производительность при высоком качестве экспонирования даже на паяльной маске. Различные длины волн имеют пиковые значения как в поглощаемом, так и проходящем спектре паяльной маски. Благодаря чему происходит полимеризация как верхнего, так и нижнего слоя маски, позволяя получить полностью полимеризованный слой с оптимальной адгезией к заготовке.

Применение технологии УФ светодиодов не требует больших эксплуатационных расходов по сравнению со стандартной технологией лазерного прямого экспонирования. Светодиоды работают только при непосредственном экспонировании плат, что увеличивает их срок службы.

Высокоточная технология масштабирования и компенсации деформации в режиме реального времени реагирует на изменение материалов печатных плат. Для каждой заготовки применяются различные коэффициенты масштабирования с динамичными режимами отображения: линейные (трапецеидальное масштабирование, прямоугольное масштабирование) и нелинейные (многоугольное масштабирование).

Благодаря модульности и гибкости системы Ledia соответствует различным требованиям пользователя. Приобретя установку начального уровня Вы получаете возможность увеличить производительность в любое время, добавив экспонирующие головки без остановки процесса производства.

Установка экспонирования AFOSA разработана фирмой Altix для двухстороннего экспонирования высокоточных печатных плат.

Установка состоит из системы экспонирования, двух вакуумных рам, вакуумного насоса, системы охлаждения лампы и системы управления процессом экспонирования.

Простая конструкция обеспечивает высокую надёжность установки AFOSA

Установка экспонирования DMVL разработана фирмой COLIGHT для двухстороннего экспонирования фоторезиста печатных плат, а также паяльной маски. Установка состоит из системы экспонирования, двух вакуумных рам, системы охлаждения ламп и системы управления процессом экспонирования. Простая конструкция обеспечивает высокую надёжность установки DMVL.

Система экспонирования состоит из двух УФ ламп со ступенчатой регулировкой мощности. Лампы производятся фирмой COLIGHT, что гарантирует их высокую надёжность и большой срок службы. Лампы расположены вместе со специальными отражателями сверху и снизу камеры экспонирования и обеспечивают высокую равномерность излучения по всей площади рамы.

Установки серии EXP разработаны для высокоэффективного экспонирования с двух сторон.

Принцип работы:

Благодаря вакуумному насосу создается равномерный контакт между фотошаблоном и платой. Экспонирование начинается только после того, как рама экспонирования будет закрыта и задвинута в установку. В этот момент затворы открываются и лампы начинают накаливаться.

В режиме ожидания потребление энергии снижается до 25% для экономии и избегания перегрева. Установка оборудована мощными охлаждающими вентиляторами.

Простая конструкция обеспечивает высокую надёжность установки AFOSA

Установки серии EXP разработаны для высокоэффективного экспонирования с двух сторон.

Принцип работы:



UV-P100/150/200/300 – быстрая, надежная и высокоэффективная установка прямого экспонирования для рентабельного изготовления высокоплотных печатных плат. Автоматическое выравнивание: Точное базирование двухсторонних печатных плат осуществляется автоматически благодаря видеосистеме. Камера обнаруживает просверленные для базирования отверстия с точностью в несколько микрометров и корректирует позицию печатной платы за несколько секунд. С этой функцией производство профессиональных печатных плат происходит без каких-либо ошибок позиционирования. Высокая гибкость – простота модернизации: Приобретя высокоточную установку прямого экспонирования компании Limata Вы получаете возможность увеличить производительность и мощность в любое время, добавив модуль экспонирования (до 4) и лазерный источник (до 8).




*Производитель: Colight (США)* *Установка экспонирования* *с автоматическими* *рамами совмещения* состоит из: системы ультрафиолетового излучения комплекта рам (2 шт.) с управляющим компьютером для совмещения фотошаблонов друг с другом, а также с внешними слоями и для экспонирования внутренних и внешних слоёв и паяльной маски системы охлаждения ламп системы управления процессом экспонирования. *Система ультрафиолетового излучения* состоит из двух ламп и специальных отражателей. Лампы разработаны фирмой Colight, что гарантирует их высокую надёжность и большой срок службы. Отражатели расположены сверху и снизу камеры экспонирования и обеспечивают высокую равномерность излучения по всей площади рам. Система охлаждения воздухом гарантирует бесперебойную работу ламп экспонирования. *Автоматическая система совмещения* состоит из 2-х рам экспонирования (стекло к стеклу), 2-х видеокамер, системы управления со специальным программным управлением и прецизионных устройств их перемещения.

Система “стекло к стеклу”: Система “стекло к стеклу” позволяет достигнуть точного совмещения фотошаблона и платы Рама PinLam EF: Использование автономного вакуума упрощает крепление фотошаблонов к стёклам и создаёт условия для более быстрой настройки Уникальная конструкция отделяет компоненты базирования от крепления рамы для обеспечения высокой повторяемости Исключает повреждение фотошаблонов Толщина плат до 3.96 мм без регулировочной подкладки

Установка экспонирования *DMVL* *1630* разработана фирмой COLIGHT для двухстороннего экспонирования жидкой и сухой паяльной маски печатных плат. Установка состоит из системы экспонирования, двух вакуумных рам, системы охлаждения ламп и системы управления процессом экспонирования. Простая конструкция обеспечивает высокую надёжность установки DMVL 1630. Система экспонирования состоит из двух УФ ламп мощностью 8 кВт со ступенчатой регулировкой мощности 3/5/8 кВт. Лампы производятся фирмой COLIGHT, что гарантирует их высокую надёжность и большой срок службы. Лампы расположены вместе со специальными отражателями сверху и снизу камеры экспонирования и обеспечивают высокую равномерность излучения по всей площади рамы. Для достижения высокой производительности на установке используются две выдвижные рамы. В то время как Вы экспонируете в одной раме, новая заготовка может быть помещена во вторую раму экспонирования. Вакуумная система надёжно фиксирует заготовку в раме. Простая и надёжная система транспортировки обеспечивает плавное перемещение рам в зону экспонирования.


Установка двухстороннего ультрафиолетового экспонирования рамного типа с вакуумной контактной системой. Очень короткое время экспонирования за счет применения суперактиниевых ультрафиолетовых ламп мощностью 30 Вт или 40 Вт в моделях, оборудованных электронными быстродействующими стартерами. Равномерная освещенность, благодаря системе рефлекторов. Двойная вакуумная рама с двумя запрессованными полиэфирными пленками для получения равномерного экспонирования с обеих сторон. Запрессовка пленок предотвращает образование воздушных пузырей на большой рабочей площади и обеспечивает хороший контакт пленки по всей поверхности, включая отдаленные края экспонируемой платы. Автоматическая подача воздуха для быстрого снижения вакуума сразу после экспонирования. Эффективная вентиляция установки обеспечивает постоянное качество экспонирования даже при непрерывной работе. Корпус изготовлен из пластика. Три из пяти версий оборудованы быстродействующими электронными стартерами. Этим обеспечивается абсолютно одинаковое свечение всех ламп. Модели отличаются размерами рабочего поля и наличием быстродействующего электронного стартера.

*AKTINA E* — Односторонняя установка экспонирования покрытий, чувствительных к ультрафиолетовому свету. Рабочее поле: 300 х 400 мм. AKTINA U 4 / U 6 — Установки одностороннего ультрафиолетового экспонирования с прочным пластиковым корпусом светло-серого цвета. Рабочее поле 200 х 400 мм или 300 х 400 мм. *Преимущества:* Равномерная освещенность, благодаря системе рефлекторов. Электронный таймер с диапазоном от 1 до 99 минут, дискретностью 1 сек., с обратным отсчетом, подсветкой дисплея и звуковым сигналом по истечении установленного времени. Пружины, прижимающие подушку из твердого вспененного материала на крышке к толстому стеклу снизу. Сочетание воздействий пружин и эластичной подушки обеспечивает прочный и ровный контакт пленки и фоточувствительной поверхности. Удобство при позиционировании пленки на плате вследствие того, что лампы установлены в крышке. *Принцип действия:* Сначала плата, которая должна быть проэкспонирована, а затем пленка укладываются на подушку из твердого вспененного материала, после чего опускается откинутое стекло и блокируется. Положение пленки на плате может быть проверено перед экспонированием. После проверки правильности положения пленки на плате крышка с лампами закрывается и может выполняться экспонирование.


UV-P100/150/200/300 – быстрая, надежная и высокоэффективная установка прямого экспонирования для рентабельного изготовления высокоплотных печатных плат. Автоматическое выравнивание: Точное базирование двухсторонних печатных плат осуществляется автоматически благодаря видеосистеме. Камера обнаруживает просверленные для базирования отверстия с точностью в несколько микрометров и корректирует позицию печатной платы за несколько секунд. С этой функцией производство профессиональных печатных плат происходит без каких-либо ошибок позиционирования. Высокая гибкость – простота модернизации: Приобретя высокоточную установку прямого экспонирования компании Limata Вы получаете возможность увеличить производительность и мощность в любое время, добавив модуль экспонирования (до 4) и лазерный источник (до 8).




*Производитель: Colight (США)* *Установка экспонирования* *с автоматическими* *рамами совмещения* состоит из: системы ультрафиолетового излучения комплекта рам (2 шт.) с управляющим компьютером для совмещения фотошаблонов друг с другом, а также с внешними слоями и для экспонирования внутренних и внешних слоёв и паяльной маски системы охлаждения ламп системы управления процессом экспонирования. *Система ультрафиолетового излучения* состоит из двух ламп и специальных отражателей. Лампы разработаны фирмой Colight, что гарантирует их высокую надёжность и большой срок службы. Отражатели расположены сверху и снизу камеры экспонирования и обеспечивают высокую равномерность излучения по всей площади рам. Система охлаждения воздухом гарантирует бесперебойную работу ламп экспонирования. *Автоматическая система совмещения* состоит из 2-х рам экспонирования (стекло к стеклу), 2-х видеокамер, системы управления со специальным программным управлением и прецизионных устройств их перемещения.

Система “стекло к стеклу”: Система “стекло к стеклу” позволяет достигнуть точного совмещения фотошаблона и платы Рама PinLam EF: Использование автономного вакуума упрощает крепление фотошаблонов к стёклам и создаёт условия для более быстрой настройки Уникальная конструкция отделяет компоненты базирования от крепления рамы для обеспечения высокой повторяемости Исключает повреждение фотошаблонов Толщина плат до 3.96 мм без регулировочной подкладки

Установка экспонирования *DMVL* *1630* разработана фирмой COLIGHT для двухстороннего экспонирования жидкой и сухой паяльной маски печатных плат. Установка состоит из системы экспонирования, двух вакуумных рам, системы охлаждения ламп и системы управления процессом экспонирования. Простая конструкция обеспечивает высокую надёжность установки DMVL 1630. Система экспонирования состоит из двух УФ ламп мощностью 8 кВт со ступенчатой регулировкой мощности 3/5/8 кВт. Лампы производятся фирмой COLIGHT, что гарантирует их высокую надёжность и большой срок службы. Лампы расположены вместе со специальными отражателями сверху и снизу камеры экспонирования и обеспечивают высокую равномерность излучения по всей площади рамы. Для достижения высокой производительности на установке используются две выдвижные рамы. В то время как Вы экспонируете в одной раме, новая заготовка может быть помещена во вторую раму экспонирования. Вакуумная система надёжно фиксирует заготовку в раме. Простая и надёжная система транспортировки обеспечивает плавное перемещение рам в зону экспонирования.


Установка двухстороннего ультрафиолетового экспонирования рамного типа с вакуумной контактной системой. Очень короткое время экспонирования за счет применения суперактиниевых ультрафиолетовых ламп мощностью 30 Вт или 40 Вт в моделях, оборудованных электронными быстродействующими стартерами. Равномерная освещенность, благодаря системе рефлекторов. Двойная вакуумная рама с двумя запрессованными полиэфирными пленками для получения равномерного экспонирования с обеих сторон. Запрессовка пленок предотвращает образование воздушных пузырей на большой рабочей площади и обеспечивает хороший контакт пленки по всей поверхности, включая отдаленные края экспонируемой платы. Автоматическая подача воздуха для быстрого снижения вакуума сразу после экспонирования. Эффективная вентиляция установки обеспечивает постоянное качество экспонирования даже при непрерывной работе. Корпус изготовлен из пластика. Три из пяти версий оборудованы быстродействующими электронными стартерами. Этим обеспечивается абсолютно одинаковое свечение всех ламп. Модели отличаются размерами рабочего поля и наличием быстродействующего электронного стартера.

*AKTINA E* — Односторонняя установка экспонирования покрытий, чувствительных к ультрафиолетовому свету. Рабочее поле: 300 х 400 мм. AKTINA U 4 / U 6 — Установки одностороннего ультрафиолетового экспонирования с прочным пластиковым корпусом светло-серого цвета. Рабочее поле 200 х 400 мм или 300 х 400 мм. *Преимущества:* Равномерная освещенность, благодаря системе рефлекторов. Электронный таймер с диапазоном от 1 до 99 минут, дискретностью 1 сек., с обратным отсчетом, подсветкой дисплея и звуковым сигналом по истечении установленного времени. Пружины, прижимающие подушку из твердого вспененного материала на крышке к толстому стеклу снизу. Сочетание воздействий пружин и эластичной подушки обеспечивает прочный и ровный контакт пленки и фоточувствительной поверхности. Удобство при позиционировании пленки на плате вследствие того, что лампы установлены в крышке. *Принцип действия:* Сначала плата, которая должна быть проэкспонирована, а затем пленка укладываются на подушку из твердого вспененного материала, после чего опускается откинутое стекло и блокируется. Положение пленки на плате может быть проверено перед экспонированием. После проверки правильности положения пленки на плате крышка с лампами закрывается и может выполняться экспонирование.

Установка двустороннего экспонирования C SUN UVE-M170C

Установка C SUN UVE-M170C предназначена для экспонирования фоторезиста и паяльной маски при производстве печатных плат с высокой плотностью рисунка. В установке применены две рамы. Пока одна рама экспонируется, во вторую раму укладывается заготовка.

Особенности

Источник света на мощных УФ светодиодах (гарантированный ресурс работы — 2 года)
Встроенный модуль для контроля температуры светодиодной панели
Удобное обслуживание и замена светодиодных модулей
Автоматическая калибровка и компенсация энергии, равномерность освещения автоматически калибруется до 90%
Управление: сенсорный ЖК монитор и программируемый логический контроллер.
Система самодиагностики и вывода на экран сообщений об ошибках

Технические характеристики

Максимальный размер заготовок и область экспонирования: до 1300×650 мм
Толщина заготовок: 0,1-3,175 мм
Минимальная ширина элемента рисунка и зазор между элементами: 50 мкм.
Половинный угол коллимирования: 6°
Однородность экспонирования: ≥90% (Min/Max*100%)
Суммарная мощность источников света: 1 кВт; Двустороннее экспонирование.
Интенсивность света: 40 мВт/см²
Управление экспонированием: интеллектуальный УФ интегратор с встроенным измерителем УФ энергии
В раме:
— сверху — майларовая или акриловая пленка, снизу – стекло, вакуумный прижим
— вакуум: >-700 мм/рт. столба
— автоматические электромагнитные замки рам
Независимые установки для верхней и нижней рамы и для каждой лампы
Охлаждение источника света: водяное от собственного чиллера.
Охлаждение камеры экспонирования: ниспадающий воздушный поток;
Условия эксплуатации: чистое помещение класс 10000 (на частичках 0,5 мкм), 22° ±2°; относительная влажность 55% ±5%.

Энергетика

Электропитание: 380 В, 50 Гц, 3 фазы + нейтраль, 7,5 КВА
Сжатый воздух: 5 бар, 100 л/мин, трубка 12 мм

Габариты

Габариты:
— Установка экспонирования: Ш2100 (+ передвижная полка 260 мм) х Г2190 х В1890 + (съёмные колёса 105) мм
— Охладитель: Ш380 х Д455 х В745 мм
Вес: 800 кг.

Добавить в корзину

Многонаправленная УФ-светодиодная литография с использованием ряда высокоинтенсивных УФ-светодиодов и поворотно-поворотного держателя образцов для трехмерного микротехнологического производства | Письма Micro и Nano Systems

Предложенная система была охарактеризована по коллимации света, интенсивности света и однородности светораспределения и продемонстрировала несколько трехмерных микроструктур с использованием фоторезиста SU-8.

На рисунке 6 показан результат теста коллимации света. 5 светодиодов с коллимационной линзой были размещены в один ряд, а белый экран был установлен вертикально, чтобы видеть распространение света, как показано на рис.осталось 5). В темной комнате были включены 5 светодиодов, которые проецировали свет через белый экран. Наблюдалось пять световых столбов, как показано на рис. 5 (справа). Угол коллимации был измерен на боковой стенке колонны распространения света с использованием программного обеспечения ImageJ (NIH) и показал угол измерения в пределах 5 °, что является приемлемым для целей фотолитографии.

Рис. 6

Распространение света, волновод с линзой и коллимацией: угол коллимации наблюдался при 5 °

На рисунке 7 показан результат измерения интенсивности света УФ-светодиода и связанного с ним теплового воздействия на светодиод.Поскольку регулируемая интенсивность источника света рассматривалась как важная особенность предлагаемой системы, интенсивность света измерялась путем приложения различных величин тока к каждому светодиоду, как показано на рис. 7a. Максимально допустимый ток для каждого светодиода был указан как 500 мА, однако максимальный приложенный ток в этом эксперименте был ограничен до 320 мА, что было указано производителем как номинальный ток. Приложенный ток увеличивали каждые 8 мА, а затем измеряли интенсивность света на расстоянии 20 мм, 40 мм, 60 мм и 120 мм.На расстоянии 20 мм интенсивность света была достигнута на уровне 200 мВт / см ² при 200 мА, так же как и на расстоянии 40 мм при 280 мА, где диапазон измерителя интенсивности (Модель 202, G&R Labs ) составляла до 200 мВт / см ² в том же масштабе. Интенсивность света на расстоянии 120 мм все еще была выше 100 мВт / см ², что все еще достаточно для процесса СУ-8 толщиной в миллиметр. Расстояние 120 мм также обеспечивает пространство наклонно-поворотного держателя образца, где диаметр пластины составляет около 750 мм.Измеренные данные переменной интенсивности света и данные о различных расстояниях могут позже использоваться в качестве справочной информации для процесса программируемой световой экспозиции.

Рис.7

Характеристики источника света UV-LED: a сила света через приложенный ток на каждый светодиод на разном расстоянии и b изменение температуры в зависимости от приложенного тока с различными методами охлаждения

Температурное поведение светодиода наблюдалось, когда ток, подаваемый на каждый светодиод, увеличивался до 320 мА с шагом 8 мА.Первое наблюдение было проведено без какого-либо инструмента управления теплом. Начиная с комнатной температуры, каждый светодиод нагревается до 129,7 ° C при токе 320 мА. Тот же тест был проведен после добавления алюминиевого радиатора (BNTECHGO, Inc.) к задней стороне печатной платы УФ-светодиода. Прирост тепла был пропорционален приложенному току, и самая высокая температура наблюдалась при 87,3 ° C. Исходя из рекомендованной производителем температуры для светодиода 87,3 ° C было минимально приемлемым.Был добавлен внешний вентилятор и проведен такой же температурный эксперимент. Наблюдая за медленным увеличением температуры, максимальная температура составила 48 ° C при 320 мА. Предполагая, что оптическая температура может отличаться от разных моделей и производителей, радиатор и охлаждающий вентилятор с регулируемой скоростью могут управлять светодиодами в рекомендуемом диапазоне температур.

Источник света системы был спроектирован так, чтобы иметь орбитальное вращение, что является преимуществом для программируемого управления светодиодами, поскольку расположение каждого светодиода имеет региональное вращение без изменения положения с соседними светодиодами, обеспечивая при этом равномерную интенсивность света по подложке.На рисунке 8 показано сравнение распределения интенсивности света УФ-светодиода с орбитальным вращением и без него. УФ-светодиодный источник света 5 на 5 спроектирован так, что вращается вокруг орбитальной оси для равномерного распределения интенсивности света. Длина оси была рассчитана на 13 мм, чтобы покрыть всю открытую площадь. Изображения были сняты с помощью камеры (EOS Rebel T3i, Canon) в режиме ручной экспозиции в течение 8 с. Для отображения и измерения интенсивности света перед матрицей УФ-светодиодов помещался тонкий белый экран.На рис. 8а показано световое изображение матрицы УФ-светодиодов 5 на 5. В том месте, где были размещены линзы, были показаны экспонированные участки. Обнаружен высокий контраст между экспонированной областью и неоткрытой областью. На рис. 8б показано изображение световой экспозиции с орбитальным вращением. Экспонируемая область была немного больше, чем изображение, показанное на рис. 8а, из-за вращения, и, как и ожидалось, изображение показывает равномерное распределение площади экспонирования света. Захваченные изображения на рис. 8a, b были дополнительно проанализированы с помощью контраста интенсивности через черную линию, проведенную в центре изображения.С помощью программного обеспечения ImageJ был построен профиль контраста интенсивности света, как показано на рис. 8c. Синие точки (без вращения) показывают контраст высокой интенсивности в диапазоне от 0,45 до 0,95, а красные точки (с вращением) показывают относительно равномерное распределение света.

Рис.8

Результат теста на однородность света: a светодиодный источник света без вращения, b с вращением и c график распределения интенсивности света из ( a ) и ( b )

Чтобы обеспечить одинаковую яркость светодиодов для нескольких светодиодов, можно регулировать мощность, подаваемую на каждый светодиод.Эта особенность является преимуществом, поскольку некоторые светодиоды могут иметь небольшую разницу в интенсивности при производстве. С другой стороны, система может обеспечить региональное высококонтрастное распределение света, направленное на неравномерное распределение света по мере необходимости. Например, для создания микрорельефа фоторезиста разной высоты требуется локально дифференцированная интенсивность света. Эта передовая функция имеет большой потенциал в качестве следующего поколения системы микролитографии для создания разнообразных трехмерных микроструктур.

На рисунке 9 показаны данные о прозрачности СУ-8 с различной толщиной в диапазоне от 0,5 мм до 7 мм. В традиционной фотолитографии SU-8 толщина SU-8 обычно составляет от нескольких микрон до сотен микрон из-за производственных проблем, таких как длительное время выдержки, низкая интенсивность УФ-излучения, длительное время мягкого обжига и несовместимость. отливки СУ-8 толщиной несколько миллиметров. Однако УФ-светодиоды с очень высокой интенсивностью могут решить некоторые из основных проблем, связанных с технологией SU-8 миллиметрового диапазона.Поскольку литография представляет собой процесс экспонирования света, который особенно важен для распространения света через фоторезист, были исследованы характеристики прозрачности SU-8 в зависимости от времени воздействия УФ-излучения в миллиметровом диапазоне толщины. В эксперименте толстый образец СУ-8 (СУ-8 2025) отливали на прозрачную стеклянную подложку и подвергали мягкому обжигу при 95 ° С в течение 10–15 ч в зависимости от толщины. Для запеченного образца СУ-8 предполагалось, что большинство растворителей испарилось. Образец помещали под УФ-светодиод (405 нм) и измеряли интенсивность света на противоположной стороне образца с помощью измерителя интенсивности (модель 202, G&R Labs).График показывает, что интенсивность света сохранялась в течение первых 10 с и начала снижаться. Большинство образцов показали аналогичную степень ослабления интенсивности света в диапазоне времени экспозиции от 10 до 100, поскольку интенсивность упала с 30 до 40% после 100-секундной экспозиции. Интенсивность света значительно снизилась после 1000 с (около 17 мин), где оставалось 10% или меньше от исходной интенсивности. Поскольку интенсивность УФ-светодиодного источника света была установлена на уровне 200 мВт / см ², рекомендуемое время экспозиции для УФ-светодиода составляет до 600 с (10 мин), при этом интенсивность света все еще превышает 10 мВт / см. см ², в котором все еще может происходить реакция сшивания SU-8.

Рис. 9

Через SU-8 Испытания на прозрачность и затухание

На рисунке 10 представлены некоторые стандартные микроструктуры с использованием представленных УФ-светодиодных систем, чтобы показать, что УФ-светодиодные системы могут создавать узоры с мелкими элементами, а также с высоким аспектом передаточные столбы. На рис. 10а показано изображение нескольких линий, полученное с помощью SEM. Узкие линии имеют размер 3,5 мкм, а широкие линии — 8 мкм, где рисунки выполнены из СУ-8. Поскольку многие размеры фотошаблонов с светом 365 нм или 405 нм составляли несколько микрон или больше, продемонстрированный 3.Размер элемента 5 мкм показывает хорошую совместимость с традиционной УФ-литографией. На рисунке 10b показан столб из SU-8 с высоким соотношением сторон, где диаметр столба составлял 20 мкм, а высота столба составляла 700 мкм. Соотношение сторон этой опоры составляет 35, что раньше было трудно изготовить, если только источник ультрафиолетового света не имеет высокой интенсивности и высокого качества коллимации света. На рис. 10в показан массив столбов СУ-8 высотой 3 мм. Высота столба СУ-8 чрезвычайно высока по сравнению с обычными конструкциями СУ-8.Диаметр колонны составлял 300 мкм, и поэтому соотношение сторон колонны составляет 10. В этой конструкции колонны SU-8 высотой 3 мм было применено общее время УФ-облучения 10 мин при 200 мВт / см. ², где время экспонирования по-прежнему практично, но увеличенная высота конструкции SU-8 может иметь большой потенциал для применения в радиочастотных / микроволновых антеннах или микрожидкостных каналах. На рисунке 10d показан массив микростолбиков SU-8. Диаметр 30 мкм с опорой SU-8 высотой 400 мкм был изготовлен единообразно, чтобы показать периодический процесс.На снимке SEM представлено более 2000 столбов.

Рис. 10

Малый размер элемента и столб с высоким соотношением сторон, столбик с высоким соотношением сторон миллиметра: a линии 3,5 и 8 микрон, b микропилляр с высоким соотношением сторон, c микрошпонка высотой 3 мм, d более 2000 микростолбиков

На рисунке 11 показаны различные трехмерные структуры SU-8, изготовленные с использованием УФ-светодиодного света и наклонно-вращательного столика. На рисунке 11а показан массив «скрепленных цепями треугольных плит».В качестве подложки использовалась матрица 30 мкм отверстия на хромовом стекле, а также фотомаска для экспонирования с обратной стороны. СУ-8 толщиной 300 мкм наносился на подложку и прокаливался при 95 ° С. Держатель образца с наклоном и вращением был запрограммирован на непрерывное изменение угла наклона от -70 ° до + 70 ° при фиксированном угле поворота. Интенсивность света была установлена на уровне 200 мВт / см ^2,, а общая приложенная световая энергия составляла 480 Дж / см ². На рисунке 11b показана конструкция штатива СУ-8 миллиметрового масштаба. 1.Су-8 толщиной 5 мм наносился на хромовое стекло для задней экспозиции. Наклонно-поворотный держатель образца был запрограммирован следующим образом. Угол наклона был зафиксирован на уровне 70 °, а УФ-экспонирование выполнялось при стационарных углах вращения 0 °, 120 ° и 240 ° для 360 Дж / см ² соответственно. Угол наклона каждой опоры был измерен как 67 ° от земли, что хорошо согласуется с предсказанием закона Снеллиуса с показателем преломления 1,67 для SU-8. Длина наклонной опоры составила 2.2 мм. На рисунке 11c показаны трехмерные лепестковые структуры SU-8 разных размеров в одном и том же процессе. Различия в размерах были вызваны разным размером рисунков на фотошаблонах, которые могли различать применяемую энергию УФ-облучения. Высота большой лепестковой структуры SU-8, показанной на фиг. 11c (слева), составляла 1,5 мм, в то время как высота малой лепестковой структуры SU-8 была измерена как 200 мкм. Представленные трехмерные конструкции обладают большим потенциалом.

Рис. 11

Уникальные трехмерные конструкции SU-8: a — массив из «цепных треугольных плит», b Массив штативов SU-8 высотой миллиметров, c большой (1.5 мм) и небольшая (200 мкм) трехмерная лепестковая структура SU-8 на единой структуре

(PDF) УФ-светодиодная система экспонирования для недорогой фотолитографии

[9] Япичи, М.К., Зоу, Дж., «Новая технология микрообработки для серийного производства массивов сканирующих зондов с точно определенными зонами контакта наконечников», J. Micromech. Microeng, 18 (8), 085015 (2008).

[10] Мелчелс, Ф.П.В., Фейен, Дж., Грийпма, Д.В., «Обзор стереолитографии и ее приложений в биомедицинской инженерии»,

Биоматериалы, 31 (24), 6121–6130 (2010)

[11 ] Хорхе, П., [Стереолитография: материалы, процессы и приложения], Спрингер, Нью-Йорк, (2011).

[12] Харриот, Л. Р. «Пределы литографии», Proc. IEEE, 89 (3), 366–374 (2001).

[13] Холмс, С. Дж., Митчелл, П. Х. и Хаки, М. К., «Производство с использованием литографии DUV», IBM J. Res. & Dev. 41, 7 (1997).

[14] Хелберт, Дж. Н., [Справочник по технологиям и приложениям, основанным на принципах микролитографии СБИС, 2-е изд.], Нойес / Уильям

Эндрю Паблишинг, Норвич, Нью-Йорк (2001).

[15] http://www.superbrightleds.com/moreinfo/component-leds/5mm-uv-led-15-degree-viewing-angle-380-nm-30mw/632/

[Доступ: 26 января 2014]

[16] Jeon, CW, Gu, E. и Dawson, MD, «Фотолитографическое экспонирование без маски с использованием матрично-адресуемого микропикселированного светодиода

AlInGaN», Прил. Phys. Lett., 86 (22), 1105 (2005)

[17] Д. Эльфстрём, Б. Гильхаберт, Дж. Маккендри, С. Польша, З. Гонг, Д. Массубр, Э.Ричардсон, Б. Р. Рэй, Г. Валентайн, Г. Бланко —

Гомес, Э. Гу, Дж. М. Купер, Р. К. Хендерсон и М. Д. Доусон, «Ультрафиолетовая фотолитография без маски на основе микропиксельных светодиодов CMOS-

, «Опт. Экспресс, 17 (26), 23522-23529 (2009).

[18] Сузуки, С., Мацумото, Ю., «Литография с матрицей УФ-светодиодов для изогнутой структуры поверхности», Microsyst Technol, 14 (9-11), 1291-

1297 (2008)

[19] Ким, JK, Paik, SJ, Herrault, F.и Аллен, М.Г., «УФ-светодиодная литография для трехмерного моделирования микроструктуры с высоким соотношением сторон»,

, 14-й семинар по твердотельным датчикам, исполнительным элементам и микросистемам, 481-484 (2012).

[20] Guijt, R.M., и Breadmore, M.C., «Фотолитография без маски с использованием УФ-светодиодов», Lab Chip, 8 (8), 1402–1404 (2008).

[21] Хантингтон М. Д. и Одом Т. В. «Портативная настольная фотолитографическая система на основе твердотельного источника света», Small,

, 7 (22), 3144–3147 (2011).

[22] Справочное руководство оператора устройства выравнивания маски Karl-Suss MJB3, P / N 080AA261 1289, раздел 3.2.1.

[23] Паспорт продукта, фоторезист с обращением изображения AZ5214E, Clariant Corporation, Сомервилль, Нью-Джерси.

Proc. SPIE Vol. 9052 T-7

Загружено с: http://proceedings.spiedigitallibrary.org/ 17.04.2014 Условия использования: http://spiedl.org/terms

УФ-светодиодный блок экспонирования для травления печатных плат

Существует множество способов экспонирования фоторезиста печатной платы.Немногие, если таковые имеются, могут полностью открыть вашу доску за 30 секунд или меньше. Этот источник ультрафиолетового света способен экспонировать фоторезист или УФ-отверждение различных красок и покрытий.

Фотоэкспозиция печатной платы — это быстрый способ создания небольших партий дизайна, который экспериментатор может сделать дома относительно недорого. Недавно у нас был клиент, который хотел сделать именно это, но хотел иметь возможность быстро экспонировать и обрабатывать множество одноразовых дизайнов, но им требовался источник ультрафиолетового света для экспонирования предварительно сенсибилизированных плат.

Плата изготовлена компанией MG Chemicals и является их моделью 687. Это односторонняя предварительно сенсибилизированная 1/32 ″ медная плакированная плата 100 мм x 150 мм (приблизительно 4 ″ x 6 ″). Он поставляется предварительно сенсибилизированным и включает отслаивающийся слой, защищающий сенсибилизированную медную основу.

В конечном итоге они построили и использовали выставочную установку, включающую двенадцать светодиодов STAR UV мощностью 1 Вт. Двенадцать светодиодов разделены на четыре параллельные цепочки по три модуля, каждый из которых последовательно подключен и управляется драйвером светодиодов мощностью 1 Вт .

MG Chemicals продает флуоресцентный источник света для разработки плат, но было сочтено, что этот процесс был слишком медленным, и в то время клиент не мог получить этот продукт. Небольшое исследование показывает, что выходная частота лампы составляет 375 нм, и что обычно любой излучаемой энергии в диапазоне от 350 до 450 нм будет более чем достаточно, чтобы обнажить платы. Светодиод UV STAR, выбранный для этого проекта, имеет выходную частоту от 400 до 410 нм, что находится в самом центре желаемого частотного спектра.

После того, как устройство экспонирования было собрано и первая тестовая плата была изготовлена, было определено, что время экспонирования от 15 до 20 секунд — это все, что требовалось для правильного экспонирования платы. Было несколько других проектов, в которых использовались 5-миллиметровые УФ-светодиоды, но в результате время экспозиции варьировалось от нескольких минут до десятков минут в зависимости от качества использования светодиодов. За 15-20 секунд это решение дало им возможность быстрого прототипирования.Прочтите процесс сборки и посмотрите, как работает устройство.

Каждый стрингер, удерживающий три светодиода STAR, состоит из алюминиевого стержня шириной 1 дюйм и толщиной 1/8 дюйма, обрезанного до 7 дюймов в длину.

Маркировка каждого куска алюминия, где будут располагаться светодиоды STAR. Расстояние между тремя светодиодами составляет 1 1/4 дюйма.

Для крепления светодиодов STAR к алюминию было рассмотрено несколько вариантов.Наиболее распространенный способ — использовать два монтажных отверстия для каждого светодиода и продевать винт через крепление.

Для отвода тепла используется термопаста между светодиодом и алюминием. При установке таким образом необходимо убедиться, что крепежные винты ничего не закорачивают на светодиодном модуле.

Другой вариант, который представился во время строительства, заключался в использовании термоклея. Это обеспечит не только надежный клей для крепления светодиода STAR к алюминию, но также и теплоноситель для отвода тепла от светодиода STAR.

Широко доступный термоклей — это термоклей Artic Silver. Это двухкомпонентный перманентный клей для термических швов с минимальным количеством швов. Он создан из микронизированного серебра чистотой 99,8%. Содержание серебра от 62% до 65% по весу, имеет широкий диапазон температур (от -40 ° C до> 150 ° C) и разработан так, чтобы проводить тепло, а не электричество.

Для крепления светодиода STAR к алюминию не потребуется много компаунда. Нанесите равные количества из пробирок части A и части B на поверхность, которую можно использовать в качестве платформы для смешивания.Используйте поверхность, которую можно протереть или утилизировать.

Теперь смешайте часть A и часть B вместе. Вы хотите получить хорошую смесь, чтобы обеспечить оптимальную адгезию.

Из смеси частей A и B нанесите столько, чтобы покрыть нижнюю часть светодиода STAR.

Поместите светодиоды STAR клеем на алюминиевую ленту.

Сейчас самое время совместить положительную и отрицательную клеммы светодиодов.Отрицательный вывод одного светодиода должен быть расположен ближе всего к положительному выводу следующего светодиода. Это позволит вам проложить простой чистый провод между каждым светодиодом, когда придет время соединять их последовательно.

Каждый светодиод должен быть плотно прижат к алюминию. Вставьте его на место и слегка поверните, чтобы нанести клей под каждый светодиод.

После того, как клей застынет (в данном случае мы оставим его на ночь), вы можете продолжить и подключить светодиоды.Совместив светодиоды, вы можете легко подключить их последовательно.

Для управления светодиодами STAR мы использовали драйвер мощностью 1 Вт. Драйвер используется для ограничения тока, идущего на светодиоды, в данном случае примерно 285 мА.

На каждой опоре есть три светодиода STAR, подключенных последовательно и подключенных к выходу 1-ваттного драйвера. Драйвер работает от адаптера питания постоянного тока на 12 В, а четыре драйвера работают от одного источника питания 12 В, 1 А.

Рама в сборе имеет четыре поперечины, каждая из которых удерживает три светодиода STAR и имеет длину 7 дюймов, прикрепленную к паре опор длиной 10 дюймов.Опорные планки расположены на расстоянии 1 1/2 дюйма друг от друга, при этом светодиоды находятся на расстоянии 1 1/4 дюйма друг от друга. Выбранные ножки были извлечены из нашего мусорного ящика и состояли из распорок длиной 3 1/4 дюйма.

Теперь вам нужно подготовить образ для переноса на печатную плату. Созданное вами изображение будет содержать следы вашей конструкции печатной платы. Он должен быть напечатан на прозрачном ацетате или, чаще, на прозрачном материале.

Его можно распечатать на струйном или лазерном принтере.Ваше произведение должно быть 1: 1 и представлять собой позитивное изображение (там, где вам нужны следы, вы должны покрыть эту область чернилами). Попробуйте распечатать свой дизайн с высоким разрешением, чтобы устранить неровности линий.

Для этого образца он был распечатан на струйном принтере с разрешением 300 точек на дюйм. Черный цвет очень черный, плотность покрытия отличная.

Показанная конструкция была создана в виде тест-полоски, используемой для тестирования различного времени воздействия. Мы закрывали часть изображения и сдвигали обложку через заранее определенный интервал времени.

Для нашего теста мы будем экспонировать слева направо с шагом 15 секунд. Это даст экспозицию 60 секунд для самой левой части, 45 для второй слева, 30 для второй справа и, наконец, 15 секунд для самой правой области.

Плата, используемая в этом проекте, произведена MG Chemicals и представляет собой их модель 687, которая представляет собой одностороннюю предварительно сенсибилизированную пластину 1/32 дюйма, покрытую медью, 100 мм x 150 мм (приблизительно 4 ″ x 6 ″). Эта модель платы поставляется предварительно сенсибилизированной и включает отслаивающийся слой, защищающий сенсибилизированную медную основу.

При извлечении предварительно сенсибилизированной платы из светозащитного пакета на плате сенсибилизированной стороной будет легкое пластиковое защитное покрытие.

Помните, что плата светочувствительна. При подготовке материала следует соблюдать осторожность, чтобы ограничить воздействие окружающего света.

Медленно снимите защитное покрытие с платы.

После снятия защитного покрытия с сенсибилизированной стороны платы можно начинать процесс экспонирования.

Сейчас самое время убедиться, что созданный вами позитивный фильм соответствует размеру выбранной вами печатной платы. В нашем случае идеально подходит.

Помните, что плата светочувствительна. Будьте осторожны при подготовке материала, чтобы ограничить воздействие окружающего света.

Открытие самой левой части доски в течение 15 секунд.

Теперь сдвиньте карточку, чтобы открыть вторую область на 15 секунд.

Теперь сдвиньте карту, чтобы открыть третью область на 15 секунд.

Еще через 15 секунд откройте последнюю часть платы.В общей сложности крайняя левая область доски теперь открыта в течение 60 секунд.

Теперь плата выставлена. Крайняя левая область доски экспонировалась в течение 60 секунд, вторая слева — 45 секунд, вторая правая область — 40 секунд и, наконец, крайняя правая область — 15 секунд.

Теперь вы можете удалить иллюстрацию с верхней части доски. На поверхности пока ничего не видно. Теперь необходимо проявить доску там, где области, подверженные воздействию ультрафиолетового света, будут проявлены и удалены.Неэкспонированные области станут черными.

Разработка платы занимает всего несколько минут. Вставьте доску в раствор позитивного проявителя, не разбрызгивая его.

Чтобы ускорить процесс проявки, слегка протрите верх доски губчатой щеткой, чтобы резист сошел с доски.

В течение минуты ваша плата должна быть полностью развернута. Очень быстрый процесс, и результаты видны практически сразу.

После того, как ваша доска полностью проявлена, хорошо промойте ее под теплой проточной водой в течение примерно минуты, чтобы удалить все химические остатки.

После того, как плата была проявлена, пора фактически протравить изображение на меди. С открытой платы, где бы ни попадал свет на плату, это приведет к удалению меди.

Используемый травитель — хлорид железа. Плату можно плавать на поверхности медной стороной вниз или погружать в травитель.

Процесс травления займет несколько минут, чтобы полностью удалить светочувствительную экспонированную область. Погрузите медную плату медной стороной вниз в раствор хлорида железа и перемешивайте до завершения травления.

Процесс травления можно ускорить, нагревая раствор хлористого железа до температуры не выше 55 ° C (135 ° F).

По завершении процесса травления выньте плату из ванны для травления с хлоридом железа и промойте водой.На плате сохранилась фотографическая маска на медных участках. Это удаляется ацетоном (обычным средством для снятия лака) и, наконец, промыванием водой.

После того, как фотографическая маска удалена с печатной платы, у вас останется медный узор печатной платы вашей схемы. Мы видим, что оптимальная экспозиция достигается во втором правом разделе. У этого была выдержка 30 секунд.

Теперь можно приступить к окончательному сверлению печатной платы, чтобы закончить ее.

Система UV Exposer работает с апреля 2012 года.На момент написания этой статьи было выставлено и разработано около 180 плат, каждая для индивидуального дизайна. Время экспонирования было стандартизовано до 20 секунд на плату с использованием светодиодов UV и LED Driver мощностью 1 Вт.

Процесс разработки претерпел одно изменение. Хлорид железа теперь заменен персульфатом аммония, и в ближайшее время ожидается переход на персульфат натрия.

Хлорид железа имеет неприятную тенденцию окрашивать все, к чему прикасается, включая одежду и ваши пальцы.С персульфатом аммония гораздо проще обращаться, он показывает, когда жидкость насыщена медью, но на некоторых досках добавлены рисунки с помощью Etch Pen (который представляет собой несмываемый чернильный маркер Venus Sharpe). Существует противоречивая информация о том, совместим ли персульфат натрия с Etch Pen, поэтому необходимо провести тестирование.

Заключительное примечание. Следует соблюдать осторожность при использовании подобного устройства из-за испускаемого ультрафиолетового излучения. Следует позаботиться о защите глаз.

Измеритель энергии УФ-светодиодов | Введение в установку экспонирования УФ-светодиодов

УФ-светодиодный экспонирующий аппарат постепенно заменяет экспонирующий УФ-излучатель с ртутной лампой. Светодиодный экспонирующий аппарат обладает такими характеристиками, как энергосбережение, защита окружающей среды, высокая эффективность работы и т. Д. Это самый идеальный заменитель традиционного УФ-экспонирующего аппарата с ртутными лампами.
Аппарат для ультрафиолетового облучения является важным оборудованием в процессе производства печатных плат.Оптическое экспонирование как важная часть производственного процесса печатных плат предъявляет строгие требования к равномерности интенсивности света. Если однородность и стабильность плохие, это приведет к передержке в некоторых областях или недоэкспонированию в некоторых областях. Измеритель энергии УФ-светодиода необходим для непосредственного контроля, достигает ли энергия стандарта во время процесса экспонирования.

1. Что такое экспонирующий аппарат?

Аппарат для ультрафиолетового экспонирования относится к машинному оборудованию, которое переносит информацию об изображении на пленке или другом прозрачном теле на поверхность, покрытую светочувствительным материалом, путем включения света для испускания ультрафиолетовых лучей с длиной волны УФА.Как правило, отверждающий источник света экспонирующей машины необходимо тестировать с помощью измерителя энергии УФ-светодиода.

2. Принцип работы экспонирующей машины

Под управлением компьютера сфокусированный электронный луч используется для экспонирования органического полимера (обычно называемого электронным резистом или фоторезистом). Фоторезист, облученный электронным лучом, изменяет свои физико-химические свойства в хорошо растворенных или плохо растворенных областях, образующихся в растворителе растворителя, тем самым формируя тонкий узор на резисте.

3. Использование экспонирующей машины

Широкий диапазон (УФ, DUV, NUV) выбор длины волны ультрафиолета, диапазон интенсивности исходящего света: 8 мВт / см2 ~ 40 мВт / см2. Поддержка постоянной интенсивности света или режима постоянной мощности. Удельную энергию можно определить с помощью измерителя энергии УФ-светодиода. Широко используется в полупроводниках, микроэлектронике, биологических устройствах и лидерах нанотехнологий. Рынок применения ультрафиолетового света для светодиодных экспонирующих аппаратов будет быстро развиваться. В конце концов, экономические преимущества и преимущества защиты окружающей среды светодиодных источников света намного превосходят традиционные лампы.

4. Измеритель энергии Linshang UV LED

Измеритель энергии ультрафиолетовых светодиодов Linshang LS128 — это профессиональное устройство для обнаружения источников ультрафиолетового света в экспонирующем аппарате. Измеритель энергии ультрафиолетовых светодиодов может регистрировать интенсивность и энергетическую ценность полученного ультрафиолетового света. Поместите измеритель энергии УФ-светодиода в то место фоторезиста, которое необходимо экспонировать. Измеритель энергии УФ-светодиодов может регистрировать ультрафиолетовый свет, получаемый фоторезистом в экспонирующем аппарате в режиме реального времени.Интенсивность и накопленное значение энергии можно достичь нормального экспонирования, контролируя интенсивность и время воздействия УФ-светодиода в экспонирующем аппарате. Спектр применения счетчиков энергии УФ-светодиодов очень широк и может применяться в других отраслях промышленности. Для получения подробной информации свяжитесь с нами по адресу [email protected].

Фоторезистные радиометры и фотометры

| ILT

Фоторезист — химическое вещество, которое становится нерастворимым под воздействием ультрафиолетового света

Фоторезист — это светочувствительное химическое вещество, которое используется для формирования покрытия на поверхности или подложке и используется для формирования рисунков для промышленной обработки.Затем на это покрытие можно воздействовать определенной полосой света, называемой спектром действия фоторезиста, чтобы повлиять на желаемое изменение фоторезиста. Это изменение приводит к тому, что фоторезист становится растворимым или нерастворимым для другого химического вещества, называемого проявителем, которое будет смыто поверх фоторезиста.

После проявления фоторезист, подвергшийся воздействию света в спектре действия, либо остается, либо смывается, оставляя узор, который затем можно использовать для дальнейшей обработки, такой как химическое травление, гравировка или литография.

Фоторезист широко используется во многих технологиях, включая микрообработку.

Фоторезист

широко используется в производстве печатных плат, где узоры, созданные с его помощью, распределяют соединения схем или следы на печатных платах с помощью химикатов для травления.

Еще одним активным пользователем фоторезиста является полупроводниковая промышленность, где он является важным этапом в фотолитографическом производстве микроструктур, которые используются для формирования крошечных схем отдельных полупроводниковых устройств.

Фоторезисты также нашли применение в биомедицинской инженерии, голографии и микрообработке. Последнее применение, микрообработка, — это быстро развивающаяся область промышленных технологий.

Также известная как МЭМС, сокращение от технологии микроэлектромеханических систем, микромеханическая обработка вывела использование фоторезиста на новый уровень. Специальные фоторезисты и подложки тщательно обрабатываются и многократно проявляются в микро-слоях, образуя полностью функциональные микро-схемы, структуры и даже целые машины, такие как зубчатые передачи, клапаны, зеркала, датчики и гироскопы.Некоторые устройства MEMS могут иметь размер всего один микрометр.

DLP или цифровая обработка света — это технология, используемая в современных проекционных телевизорах, в которой используется микрочип с тысячами микроскопических зеркал на поверхности, изготовленный по технологии MEMS, а также источник света для создания плавных, высококонтрастных изображений без дрожания. .

Контроль экспонирования фоторезистов имеет решающее значение для поддержания производства

Существует множество типов фоторезистов, подходящих для самых разных областей применения, и спектры действия могут варьироваться от одного к другому.Очень важно контролировать настройки экспозиции спектров действия, как интенсивность света, так и время экспонирования, чтобы избежать расточительного недо или передержания фоторезиста во время обработки и производства.

Для поддержания этих настроек требуется люксметр со спектральным откликом, максимально приближенным к спектру действия фоторезиста, чтобы получить точное представление о том, насколько хорошо фоторезист экспонируется. Еще больше усложняет ситуацию то, что технологическое оборудование, на котором экспонируются фоторезисты, часто очень компактно и имеет минимальное пространство для проведения таких измерений.

International Light Technologies стремится предоставить множество уникальных инструментов для работы с фоторезистами, чтобы помочь нашим клиентам в проведении этих зачастую сложных измерений.

Выбор системы

Измерители

ILT поставляются с прослеживаемыми NIST, аккредитованными ISO 17025 калибровками в ваттах, люменах, ватт / см. ², люксах и фут-канделах, а также с анализом полного спектра.

Входная оптика, включая малые косинусные рецепторы, интегрирующие сферы, адаптеры узкого луча и апертуры (для проверки однородности), может быть добавлена к системам ILT, что делает их наиболее универсальными из доступных систем.

Инженеры

ILT и сотрудники службы технической поддержки готовы настроить системы в соответствии с уникальными требованиями наших клиентов.

Используйте приведенную ниже таблицу, чтобы определить систему (счетчик + детектор), которая соответствует вашему конкретному применению. Используйте таблицу, чтобы найти спектральный диапазон, который вы хотите измерить. Таблица может быть отфильтрована для отображения наших измерителей по типу (например, портативные), а также для поиска по минимальному и максимальному спектральному диапазону, который вы хотите измерить.Таблицы также можно сортировать для группировки систем по типу счетчика, спектральному диапазону, диапазону измерения и единицам измерения. Щелкните ссылку продукта в системе, чтобы просмотреть подробную информацию.

Нужна помощь? Свяжитесь с нами, используя форму ниже, или позвонив нам по телефону 978-818-6180.

* Все радиометры / фотометры / спектрорадиометры отслеживаются NIST.
* Если единицы измерения не указаны, свяжитесь с нами (также доступны эмпирические единицы, например, fc , fL, нит, лм / фут²).
Изображение любезно предоставлено Sandia National Laboratories, SUMMiTTM Technologies, mems.sandia.gov

УФ-облучение печатной платы для подготовки к травлению

Здесь вы можете узнать, как использовать коробку для УФ-облучения, чтобы сделать свою собственную печатную плату. Вы можете визуализировать процесс с помощью этого полезного видео. и пошаговое руководство, сделанное из видео. Перед тем, как начать, вам понадобится покрытая медью доска с фоторезистивным покрытием.

Шаг 1: Разрежьте доску ножом для резки пластин

Ранее вы определили размер доски, которую хотите создать.Вам необходимо обрезать покрытую фоторезистом медную плиту до необходимого размера. Просто нарисуйте ручкой режущий край на доске, вставьте его в пластину для ножниц. резак. Внимательно следите за тем, чтобы нарисованная линия и край ножа идеально выравнивается. Надавите на ручку, взвесив ее (, рис. 1, ).

Рисунок 1 — Резка ножницами

Шаг 2: Снимите защитную пленку и поместите плату в пакет

Вы найдете защитную пленку на обеих сторонах доски, которую вы предварительно обрезали до необходимого размера.Осторожно удалите защитную пленку с медных плат ( Рисунок 2 ). Пожалуйста, не прикасайтесь к поверхности ничем. После того, как вы закончили снимать пленку, положите доску в имеющийся у вас пакет. ранее созданный в последнем уроке.

Рисунок 2 — Удаление защитной пленки

Шаг 3. Поместите доску между стаканами

Теперь ваша плата в пакете. Поместите пакет на стеклянную поверхность и установите на него еще одну стеклянную панель (, рис. 3, ).Убедитесь, что ваше стекло идеально помещается в бокс для УФ-облучения и находится ли оно параллельно УФ-излучению. Убедитесь, что стеклянные пластины лежат ровно и вплотную друг к другу.

Рисунок 3 — Установка стеклянной панели

Шаг 4: Поместите плату в коробку для УФ-облучения, когда будете готовы, выньте доску

Теперь ваша доска находится между двумя стеклянными пластинами. Вставьте стеклянные пластины в коробку для УФ-экспонирования (, рис. 4, ) и, когда вы начнете освещать плату УФ-излучением, не забудьте начать отсчет времени.Убедитесь, что вы определили точное время, в течение которого ваша доска должна подвергаться воздействию ультрафиолета. Для этого вы можете найти УФ-боксы с предустановленными таймерами. Когда УФ-облучение будет готово, вы можете вынуть доску. В следующем уроке вы узнаете, как разработать и протравить печатную плату.

Рисунок 4 — Блок УФ-экспонирования

УФ-экспонирующий аппарат для печатных плат

Аппарат для УФ-экспонирования печатных плат представляет собой темную коробку со встроенным УФ-светом. Способен освещать Покрытая медью доска с фоторезистом с одной или двух сторон.Машины с ультрафиолетовыми светодиодами сверху и нижняя часть коробки может освещать доску с обеих сторон ( Рисунок 4 ).

Время воздействия УФ-излучения на печатную плату

Время воздействия УФ излучения на печатную плату — это время, необходимое для освещения платы для изготовления печатной платы. Время зависит от нескольких факторов, таких как длина волны экспонирования, амплитуда (сила света волны), количество светодиодов, диаметр светодиода, угол освещения светодиода, расстояние между двумя светодиодами и расстояние до доски от УФ-лучей.

Длина волны УФ-излучения печатной платы

Длина волны УФ экспонирования печатной платы — это расстояние между максимальной амплитудой двух соседних волн. Длина волны УФ-излучения должна составлять от 390 до 400 нм. Вы можете прочитать длину волны в таблице данных УФ-светодиода. Требуемый диапазон длин волн находится в интервале УФ-А.

Дополнительная информация

Блок экспонирования My UV LED

Коробка

UV (ультрафиолетовый свет) — удобное оборудование для изготовления печатных плат в домашних условиях.Это позволяет сэкономить много времени и добиться очень хорошего качества досок. Для изготовления печатных плат требуется источник света УФ-А спектра, поэтому можно использовать люминесцентные лампы или светодиоды (светодиоды) с УФ-спектром. Следует отметить, что пик света УФ-светодиодов составляет примерно 395-400 нм, а флуоресцентных УФ-ламп — 370 нм. Мне показалось, что использовать светодиоды намного проще и дешевле. Недостатком является необходимость изготовления дополнительной платы, на которой будут размещены все светодиоды.Помимо обеспечения равномерного освещения всей производимой печатной платы, светодиоды должны располагаться дальше от производимой платы, чем люминесцентные лампы. Но для светодиодов нет необходимости делать отражатели, потому что светодиоды излучают свет в одном направлении, в отличие от люминесцентных ламп.

И вот однажды я заказал на Ebay 100 шт. ультрафиолетовые светодиоды с резисторами 0,25Вт 470R, все конечно китайского производства.

Стоимость

светодиодов с доставкой составила около 7 долларов. По данным продавца параметры УФ диода следующие:

Цвет излучения: УФ-фиолетовый
Цвет линз: Water Clear
прямое напряжение (В): 2.8 ~ 4,0
Прямой ток (мА): 30
длина волны (нм): 380 ~ 400
Угол обзора: около 25 градусов
Сила света: 3000 мкд
Срок службы: 100000 часов
Размер: 5 мм

На этой фотографии показано, как я проверил, действительно ли дешевые китайские УФ-светодиоды излучают УФ-свет. Тест не разочаровал. Освещение банкноты номер «10» и чувствительные к ультрафиолетовому свету волокна были четко видны, которые обычно не видны при обычном комнатном освещении:

Мой УФ-бокс состоит из двух основных частей:

.Он контролирует время, когда светодиоды включены и выключены.
светодиодов. На него монтируются все УФ-диоды.

Платы управления и светодиодов питаются от импульсного блока питания 12В 1А, поэтому я решил сделать свою плату светодиодов из таких цепей: первый диод — второй диод — третий диод — резистор 120R. Резистор ограничивает ток через цепочку из трех светодиодов до 15 мА. Если подключить один диод к резистору 470 Ом, это будет огромная трата энергии. Всего я использовал 99 светодиодов. Таким образом, согласно расчету, нагрузка составляет 15 мА х 33 шт. = 495 мА (33 гирлянды, по три светодиода в каждой цепочке).Так что на плату управления остается 500 мА. Резисторы 470 Ом, поставленные вместе со светодиодами, останутся неиспользованными, их можно будет использовать в других местах. Я нарисовал дорожки на обеих досках с помощью программы Sprint Layout 5.0. Расстояние между центрами светодиодов было выбрано 15 мм. При выборе слишком малых расстояний потребуется много диодов, если слишком большие — светодиоды будут светиться не во всех местах изготовленных плат.

На фото ниже показана плата светодиодов, изготовленная по старинной технологии — с помощью шприца и нитрокраски.Места свободного борта, где не было следов, закрашивали черным маркером и краской для сохранения медных травильных материалов.

Здесь вы можете увидеть плату светодиодов со всеми припаянными диодами и токоограничивающими резисторами. Также подключен блок питания 12В:

Корпус УФ-бокса, сделанный из материалов, которые у меня были раньше (древесно-волокнистые плиты), без излишнего эстетического вида. Верх коробки сделан из толстого оргстекла, так как он более прозрачен для УФ-лучей, чем обычное стекло.Внутренняя сторона из оргстекла обработана мелкой (размер 320) наждачной бумагой немного шероховатой. Подготовленное грубой бумагой оргстекло становится непрозрачным и лучше рассеивает свет УФ-светодиодов. Также можно использовать специальное матовое стеклянное покрытие люстры. Расстояние от светодиода до изготовленной борда должно быть не менее 15см, облучаемая поверхность платы должна быть более или менее равномерно освещена по всей своей площади. Расстояние следует выбирать проверкой нескольких дистанций.

Дальнейшее производство.Для регулирования времени облучения создана плата контроля с простым таймером. Максимальный интервал составляет 15 минут. Как я уже упоминал, время можно регулировать от 0 до 15 минут с интервалом в 10 секунд. Таймер управляется всего двумя элементами: потенциометром RV1 и кнопкой SW1 (нормально разомкнутый контакт). Ручка потенциометра должна быть как можно больше, чтобы можно было легко установить период времени.

А вот и изготовлена печатная плата таймера:

Платы таймера и светодиодов питаются от стабилизированного источника питания 12 В U1 через разъем J1.C3 необходимо разместить как можно ближе к микроконтроллеру, а C6 — ближе к дисплею LCD1. J6 — динамик малых габаритов. Диоды D2-D100 и резисторы R5-R37 (на чертеже печатной платы светодиода они пронумерованы как HL1 — HL99 и R1 — R33) образуют матрицу светодиодов, подключенных к плате управления через разъем J1. Это небольшой разъем зеленого цвета, к которому саморезами крепятся провода. Все остальные разъемы имеют черный «контактный» тип. Время отображается на дисплее 2 × 16. Разъем J3 предназначен для программирования микроконтроллера, через ЖК-дисплей J5 подключается к плате таймера.Следует отметить, что основная часть — микроконтроллер имеет корпус SOIC, поэтому его необходимо распаять со стороны дорожек, все остальные части — наоборот.

Менеджмент. Подключите блок питания 12 В к розетке, ЖК-дисплей покажет «Ожидание». Установите желаемый временной интервал с помощью потенциометра, затем нажмите кнопку SW1. Включает реле RL1. Начинается облучение. На ЖК-экране отображается слово «Бег». Если во время облучения нажать кнопку SW1, программа возвращается в состояние «Ожидание», реле RL1 выключается.Если кнопка не была нажата, таймер продолжает отсчет времени до 0:00, затем реле RL1 размыкает контакты, облучение прекращается, динамик LS1 издает 3 звуковых сигнала, на дисплее отображается «Остановлено». Если необходимо повторить облучение, снова нажмите SW1, и таймер перейдет в состояние «Ожидание».

Сейчас изготовление печатной платы таймера. Печатная плата была разработана с помощью программы Sprint Layout. Дорожки напечатаны на прозрачной пленке для лазерной печати. Прозрачные пленки можно купить в магазине канцелярских товаров, они бывают двух видов: для струйных и лазерных принтеров.Поскольку у меня дома есть лазерный принтер, я купил лазерную пленку. К сожалению, получить качественные треки на лазерном принтере довольно сложно. Если проверить отпечатанные дорожки перед яркой лампой, то отчетливо видны неравномерно отпечатанные дорожки с небольшими белыми пятнами без отпечатков. И следы недостаточно черного цвета, чтобы не пропускать через них свет. Настройки принтера при выключенном экономичном режиме не помогли. Пытался печатать на большом офисе и на нескольких других принтерах, ни у кого не было хороших результатов. Некоторые струйные принтеры имеют качество даже хуже, чем лазерные.Конечно, отпечатанные на белом листе бумаги дорожки кажутся качественными. Итак, напрашивается вывод, что лучше распечатать две копии печатной платы, а затем поместить одну на другую. Только так можно добиться хорошего качества печатной платы. Очень важно точно наложить слайды, треки должны точно совпадать. Во время облучения нижняя сторона пленки должна быть уложена вниз. Итак, конечный результат до облучения такой: матрица УФ-диодов — расстояние 15 см — оргстекло — первая пленка — вторая пленка — облученная плата.Испытания показали, что время облучения моих плат из позитивного фоторезиста составляет семь минут. Если время облучения слишком короткое, на некоторых местах платы после травления могут остаться ненужные участки меди. Слишком сильное облучение во время процесса травления может привести к травлению следов на плате. Поместите облученную пластину в раствор ДП-50 (проявочный материал позитивного фоторезиста). Со свежеприготовленным раствором проявление занимает около 50 секунд. В инструкции DP-50 сказано, что время проявления должно быть от 30 секунд до 2 минут.Если время меньше 30 секунд, можно протравить необлученный фоторезист. В зависимости от продолжительности времени проявления вы можете решить, будет ли время облучения большим или малым. Это решение имеет непродолжительный срок действия. Так что долго держать приготовленный раствор не получится. Поскольку разработка со старым решением может дать плохой результат. Если печатные платы производятся редко, более целесообразно приготовить небольшое количество раствора. Для травления доски среднего размера достаточно 250 мл проявочного раствора. Оставшийся неиспользованный застройщик можно оставить для другого проекта.После проявки доску следует осторожно протереть пальцами или тряпкой под холодной проточной водой. Затем можно проверить, достаточно ли времени облучения: на месте, где не должно быть следов, зацарапать доску острым предметом: фоторезиста не должно остаться. Если вы видите оставшийся фоторезист в месте царапины, это означает, что время облучения было слишком маленьким или процесс проявки еще не завершен. Итак, мой результат выглядит следующим образом:

Плата уже протравлена, просверлены дырочки.Левая сторона покрыта припоем. Дорожки имеют размер 0,9 мм (подавляющее большинство) и ширину 1,2 мм, диаметр контактной окружности — 2,1 мм. Качество треков действительно хорошее. Нет нетравленных медных мест или битых дорожек. В «Sprint Layout» я использовал функцию «Ground Plane», которая автоматически заполняет медью места без дорожек. Ну и напоследок несколько фото:

Вот моя коробка уже закончена:

Настройки бита конфигурации микроконтроллера:

IESO = 0 Внутреннее внешнее переключение отключено
FSCM = 0 Отказоустойчивый контроль часов отключен
FOSC <3: 0> = 0010 Генератор HS
BORV1: BORV0 = 00 VBOR установлен на 4.5V
BOR = 1 Сброс пониженного напряжения включен
PWRTEN = 0 PWRT включен
WDTPS <3: 0> = 0000 Сторожевой таймер Postscale 1: 1
WDT = 0: WDT отключен
MCLRE = 0 Входной контакт RA5 включен, MCLR отключен
DEBUG = 1 Фоновый отладчик отключен, RB6 и RB7 настроены как контакты ввода-вывода общего назначения
LVP = 0 Низковольтный ICSP отключен
STVR = 0 Переполнение / недостаточное заполнение стека не вызовет сброса
CP1 = 1 Блок 1 ((000800-000FFFh ) не защищен кодом
CP0 = 1 блок 0 (000200-0007FFh) не защищен кодом
CPD = 1 данные EEPROM не защищены кодом
CPB = 1 загрузочный блок (000000-0001FFh) не защищен кодом
WRT1 = 1 блок 1 (000800-000FFFh) не защищен от записи
WRT0 = 1 Блок 0 (000200-0007FFh) не защищен от записи
WRTD = 1 Данные EEPROM не защищены от записи
WRTB = 1 Загрузочный блок (000000-0001FFh) не защищен от записи
WRTC = 1 Регистры конфигурации (300000-3000FFh) не защищены от записи
EBTR1 = 1 Блок 1 (000800-000FFFh) не защищены от чтения таблиц, выполняемых в других блоках
EBTR0 = 1 Блок 0 (000200-0007FFh) не защищен от чтения таблиц, выполняемых в других блоках
EBTRB = 1 Загрузочный блок (000000-0001FFh) не защищен от чтения таблиц, выполняемых в других блоках

Здесь вы можете скачать файлы проекта: схемы Proteus, светодиодные матрицы Sprint Layout, чертежи плат управления и.